[发明专利]膜状光波导的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及广泛应用于光通信、光信息处理以及其他一般光学领域的膜状光波导的制造方法。

背景技术

光波导被组合在光波导设备、光学集成电路、光布线衬底等光学设备中，广泛应用于光通信、光信息处理以及其他一般光学领域。光波导通常将作为光的通路的芯形成为预定图案，并以覆盖该芯的方式形成下包层和上包层。

作为光波导的制造方法，例如，提出了在衬底上连续地(以相邻的光波导之间无间隙的状态)形成多个光波导，然后通过切片等与衬底一起把相邻的光波导之间的边界切断，逐片(一个一个)得到的带衬底的光波导的方案(例如参照专利文献1)。另外，还提出了通过用膜作下包层，在该膜上形成芯和上包层，形成多个膜状光波导，从该膜体用冲切或激光一个个切断光波导，逐片得到膜状光波导的方法(例如参照专利文献2)。

[专利文献1]日本专利特开2003-172839号公报

[专利文献2]日本专利特开2006-154447号公报

发明内容

(发明要解决的问题)

但是，在象上述那样用切断逐片获得光波导的方法中，使用切片或激光时由于必须一个个地切断，生产率低。尤其是，多种情况下光波导根据用途而整体形状复杂，沿该复杂的形状切断有困难，生产率低、而在使用冲切时，必须针对光波导的形状制作冲切用的模具，制造成本高。而且，切断时产生的切屑附着在光波导上，光波导的品质可靠性也下降。于是，这些方法在这一点尚有改善的余地。

本发明就是鉴于上述情况而提出的，其目的在于提供一种在无须切断和冲切就可以简单地获得单片的膜状光波导的膜状光波导的制造方法。

(解决问题用的技术方案)

为了实现上述目的，本发明的膜状光波导的制造方法，是一种在衬底上形成多个膜状光波导的膜状光波导的制造方法，在上述衬底上划分与多个膜状光波导对应的区域，针对每个该区域形成下包层和其上的芯而形成膜状光波导，然后从上述衬底分别剥离形成的各膜状光波导。

(发明效果)

本发明的膜状光波导的制造方法中，在衬底上划分与多个膜状光波导对应的区域，针对每个该区域形成膜状光波导。因此，通过从衬底分别剥离形成的各膜状光波导，可以逐片得到膜状光波导。即，本发明的膜状光波导的制造方法中，逐片得到膜状光波导时无须切断和冲切。结果，切屑不会附着在光波导上，光波导的可靠性也不会下降。而且，可以提高生产率，抑制制造成本。另外，即使膜状光波导的形状复杂，也可以简单地从衬底上剥离衬底上形成的膜状光波导，所以不会发生膜状光波导的形状导致的生产率低。

尤其是，在上述下包层通过如下形成时，即，在上述衬底的大致整个表面上形成感光性树脂层，选择性地曝光与上述被划分的区域对应的上述感光性树脂层的部分，把该曝光部分形成为下包层，由于在衬底上一次完成与各膜状光波导对应的各个下包层的形成，可以高效率地形成下包层。另外，上述衬底上的“大致整个表面”指形成膜状光波导的区域。

而且，在上述芯的端部形成为透镜部时，具有无须另行设置外部透镜，且高效率地抑制从芯射出的光的发散的效果、或使向芯入射的光高效率地会聚的效果。

附图说明

图1(a)～1(c)示意性地示出了本发明的膜状光波导的制造方法的一个实施方式中的下包层的形成方法的说明图。

图2(a)～2(c)示意性地示出了上述膜状光波导的制造方法的一个实施方式中的芯的形成方法的说明图。

图3(a)～3(c)示意性地示出了上述膜状光波导的制造方法的一个实施方式中的上包层的形成方法的说明图。

图4(a)、(b)是示意性地示出了上述膜状光波导的制造方法的一个实施方式中的从衬底剥离膜状光波导的说明图。

(符号说明)

W、膜状光波导

1、衬底

2、下包层

3、芯

具体实施方式

下面，基于附图对本发明的实施方式进行详细说明。

图1～4示出了本发明的膜状光波导的制造方法的一个实施方式。在该实施方式中，简单地说，在衬底1上通过针对划分好的各个区域形成下包层2〔参照图1(c)〕，在该各下包层2上形成芯3〔参照图2(c)〕后，形成覆盖该芯3的上包层4〔参照图3(c)〕，在衬底1上形成多个由下包层2、芯3和上包层4构成的膜状光波导W，使相邻膜状光波导W之间留有间隙，然后从上述衬底1上分别把形成的各膜状光波导W剥离的方法。

如果更详细地说明，则本发明的光波导的制造方法，例如，如下地进行。