[发明专利]膜状光波导的制造方法无效
| 申请号： | 200810137969.8 | 申请日： | 2008-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN101349781A | 公开（公告）日： | 2009-01-21 |
| 发明（设计）人： | S·R·卡安 | 申请（专利权）人： | 日东电工株式会社 |
| 主分类号： | G02B6/13 | 分类号： | G02B6/13;G02B6/122 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 岳耀锋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 膜状光 波导 制造 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种膜状光波导的制造方法，形成多个膜状光波导，其特征在于：在衬底上划分与多个膜状光波导对应的区域，针对每个该区域形成下包层和其上的芯从而形成膜状光波导，然后从上述衬底分别剥离形成的各膜状光波导。
2.根据权利要求1所述的膜状光波导的制造方法，其中，上述下包层通过如下形成，即，在上述衬底的大致整个表面上形成感光性树脂层，选择性地曝光上述感光性树脂层的与上述被划分的区域对应的部分，把该曝光部分形成为下包层。
3.根据权利要求1或2所述的膜状光波导的制造方法，其中，上述芯的端部形成为透镜部。
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