[发明专利]有机EL元件衬底预处理方法及有机EL元件制造方法

说明书

技术领域

[0001]本发明涉及有机电致发光(EL)元件的衬底的预处理方法，更具体地涉及其上形成有金属氧化物透明电极的衬底的预处理方法。

背景技术

[0002]近来，人们已经将注意力集中到有机EL元件(有机电致发光元件)上，有机EL元件是一种自发光类型的发光元件。在制造有机EL元件的基本方法中，在衬底上对阳极进行图案化处理，并衬底上层叠有机EL层和阴极，其中所述阳极是由ITO(氧化铟锡)制成的透明电极。有机EL层容易受到湿气或氧气的有害影响。因此，如果湿气或杂质聚集在阳极已图案化的衬底上，所制造的有机EL元件可能存在有不发光的区域(非发光区域)，称之为暗点(或黑暗区域)，或者所制造的有机EL元件可能在亮度上不均匀。因此，需要进行衬底的预处理。

[0003]衬底的预处理包括用于去除会在衬底上产生暗点的湿气的处理，。已经有人提出了一种衬底的预处理方法，在该方法中，湿气是通过加热来去除的，并且可阻止湿气再次聚集在衬底上。例如，公布号为2005-190822号的日本公开专利公开了一种其上排列有有机EL元件的衬底的湿气去除方法。有机EL元件具有第一电极、绝缘层、至少包括发光层的有机层以及第二电极，它们是依次被层叠制成的。该方法包括至少在形成绝缘层之后加热衬底以从衬底去除湿气的步骤，以及在湿气去除处理之后降低衬底温度，将气体氛维持在低露点的步骤。上述公开披露了衬底的温度被降低，同时气体氛中的气体被排出，具有低露点的新气体被引入气体氛中，或者具有低露点的新气体被吹到衬底上。

[0004]然而，在上述公开中所披露的衬底预处理方法的目标局限于去除衬底上的湿气。

[0005]本发明者已经发现通过只引入具有低露点的气态氮到处理室中来执行衬底的加热处理，作为在其上形成金属氧化物透明电极衬底的预处理时，在该衬底上形成的有机EL元件的性能可能会降低(例如，亮度不均匀)。特别是，本发明者发现用于加热处理的气体氛气体对由金属氧化物制成的透明电极的性能有不利影响。发明者还发现由于其它条件可能会降低所制造的有机EL元件的性能。

发明内容

[0006]本发明的一个目标是提供一种衬底的预处理方法，其中在制造有机EL元件时，衬底上的湿气被去除，并且在与湿气去除的同时执行对衬底上形成的由金属氧化物制成的透明电极的适当表面处理。

[0007]为了实现上述目标，本发明的一方面提供一种衬底的预处理方法。在衬底上形成由金属氧化物制成的透明电极，并且在预处理之后将形成有机电致发光元件的多个层层叠在透明电极上。所述预处理方法包括：将具有所述透明电极的衬底容纳于提供有加热器的处理室中；加热所述衬底，同时将氧气和惰性气体的混合气体引入所述处理室中，以便置换所述处理室中的气体；以及设置所述混合气体进入所述处理室的引入速度，使得所述混合气体以每分钟大于等于所述处理室总容积的1/60且小于等于所述处理室总容积的1/15的量引入到所述处理室中。

[0008]本发明的另一方面提供一种有机电致发光元件的制造方法，该方法包括：在衬底上形成由金属氧化物制成的透明电极；将具有所述透明电极的衬底容纳于提供有加热器的处理室中；加热所述衬底，同时将氧气和惰性气体的混合气体引入所述处理室中，以便置换所述处理室中的气体；设置将所述混合气体进入所述处理室的引入速度，使得所述混合气体以每分钟大于等于所述处理室总容积的1/60且小于等于所述处理室总容积的1/15的量引入到所述处理室中；将所述衬底冷却到室温；以及在所述透明电极上层叠多个层，形成所述有机电致发光元件。

[0009]根据本发明，不仅聚集在衬底和透明电极上的湿气被去除，而且同时改造由金属氧化物制成的透明电极的表面。“改造透明电极的表面”指这样一种处理方法，其中通过使用已经进行过表面处理的衬底制造的有机EL元件的性能满足预定条件。有机EL元件的性能例如可包括初始特征、寿命、亮度不均匀以及暗点的出现。通常，用于加热干法工艺的气体只用作将蒸发的湿气传送到外界的载气。根据本发明的混合气体既用作传送蒸发湿气的载气，还用来阻止由于去除湿气造成的由金属氧化物制成的透明电极表面条件的恶化。换言之，混合气体中所包括的氧气与由金属氧化物制成的透明电极的表面上的金属氧化物发生反应，并改善透明电极的表面条件。

[0010]通过以下的描述，本发明的其它方面和优点是很明显的，以下的描述结合附图进行，并以示例性方式阐述本发明的原理。

附图说明