[发明专利]复合信息处理装置、复合信息处理方法、程序及记录介质

说明书

技术领域

本发明涉及一种利用多个项目的测量值等对制造设备的异常等进行检测的复合信息处理装置等。 

背景技术

以往，作为对产品的品质不良的原因进行分析的方法，公知有如下方法：检索/收集加工数据，利用主成分分析，计算残差变量和距离变量，在残差变量超出允许范围时，计算残差变量的各加工变量的贡献度，将贡献度大的加工变量作为品质不良的原因的候补提取，在距离变量超出允许范围时，计算/比较各得分变量(Score Variable)对距离变量的贡献度，将贡献度大的得分变量作为品质不良的原因的候补提取(例如参照专利文献1)。 

专利文献1：日本专利特开2003-114713号公报(第1页、图1等) 

根据上述方法，能够对产品的品质不良进行分析，因此能够通过利用上述方法，对成为产品的品质不良的原因的制造设备的异常等进行检测。 

然而，在利用上述方法进行制造设备的异常的检测的情况下，存在如下问题：若根据在本来可调整的范围内调整了制造设备的设定等的情况下获得的测量数据计算的残差变量等从允许范围偏离，则即使制造设备正常，也会判断为制造设备异常。例如，虽然制造设备上不存在异常，但是在对制造设备的调整不适当的情况下，也存在判断为制造设备的异常的可能性。即，在现有的方法中，存在简单的制造设备的调整错误被判断为制造设备的异常的情况，因此难以作为制造设 备的异常的判断方法而利用。 

发明内容

本发明的复合信息处理装置，包括：监控公式存储部，存储监控公式，该监控公式是对正常测量数据进行主成分分析而取得的计算一个以上的主成分得分的公式，所述正常测量数据是在制造设备正常的状态下与由变更了可调整的条件的情况下的该制造设备处理的多个测量对象的、有关联的两个以上的测量项目相关的测量数据；监控测量数据接收部，接收监控测量数据，该监控测量数据是对由上述制造设备处理的测量对象测量的、与构成上述监控公式的各项所对应的测量项目相关的测量数据；主成分得分计算部，利用上述监控测量数据接收部接收的监控测量数据，根据上述监控公式计算主成分得分；监控部，利用上述主成分得分计算部计算的主成分得分，对上述制造设备的状态进行监控；以及输出部，输出上述监控部监控的结果。 

根据上述结构，能够利用抑制了由制造设备的调整引起的变动的贡献的主成分得分，对测量数据的变动进行监控，从而考虑到执行了制造设备的调整的情况等测量数据等的变动，例如排除由调整引起的变动的影响，适当地判断是否在制造设备上产生了异常。 

此外，本发明的复合信息处理装置，在上述复合信息处理装置中，上述监控部，在上述主成分得分计算部计算的主成分得分大于预先设定的阈值的情况下，判断为上述制造设备异常，上述输出部，输出表示上述监控部判断的制造设备的异常的监控结果。 

根据上述结构，能够考虑到执行了制造设备的调整的情况等测量数据等的变动而适当地判断是否在制造设备上产生了异常。特别是，能够适当地判断异常原因对有关联的测量数据的任意一个均造成影响的情况的异常的产生。 

此外，本发明的复合信息处理装置，在上述复合信息处理装置中，上述监控测量数据接收部，接收对多个测量对象测量的多个监控测量数据，上述主成分得分计算部，利用上述监控测量数据接收部接收的多个监控测量数据，根据上述监控公式，计算与上述多个监控测量数据对应的多个主成分得分，上述监控部，计算上述主成分得分计算部计算的多个主成分得分的统计量，对计算的统计量和预先设定的阈值进行比较，从而判断为上述制造设备异常，上述输出部，输出表示上述监控部判断的制造设备的异常的监控结果。 

根据上述结构，能够考虑到执行了制造设备的调整的情况等测量数据等的变动而适当地判断是否在制造设备上产生了异常。 

此外，本发明的复合信息处理装置，在上述复合信息处理装置中，上述监控测量数据接收部，接收对多个测量对象测量的多个监控测量数据，上述主成分得分计算部，利用上述监控测量数据接收部接收的多个监控测量数据，根据上述监控公式，计算与上述多个监控测量数据对应的多个主成分得分，上述监控部，在作为代表上述主成分得分计算部计算的多个主成分得分的值的代表值大于预先设定的阈值的情况下，判断为上述制造设备异常，上述输出部，输出表示上述监控部判断的制造设备的异常的监控结果。 

根据上述结构，能够忽略暂时的异常等，以高灵敏度实现抗干扰强的异常检测。