[发明专利]制造平板显示器的系统

说明书

本申请是申请日为2006年5月26日，申请号为No.200610078441.9，名称为“制造平板显示器的系统”的专利申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及一种用于制造平板显示器(FPD)的设备，更具体地，涉及一种群集式的FPD制造设备，其包括多个彼此叠置的载荷锁定腔(load lock chamber)，可用于一成行(in-line)的FPD制造系统。

背景技术

参照图1，其示出了一个主要使用的平板显示器(FPD)制造设备的示例，通常地，各FPD制造设备10a和10b都包括有顺次连接的一载荷锁定腔20、一供给腔22、以及多个加工腔24。

载荷锁定腔20连接到一外部站台，并用于将一个从外部站台传送过来的衬底载入到对该衬底进行加工的FPD制造设备、或者将在FPD制造设备中得以完全加工的衬底卸下到外部。

当在一真空状态和大气压状态之间重复地变换时，载荷锁定腔20的内部与外部连通。载荷锁定腔20内设置有一支撑模具(未示)，用于把衬底支撑在其上。支撑模具设计成在其上支撑一个或多个的衬底(未示)。

载荷锁定腔20内还设置一抽吸装置(未示)以及通气装置(未示)，用于将载荷锁定腔20的内部在真空状态和大气压状态之间变换。

供给腔22连接到载荷锁定腔20、并连接到多个加工腔24。供给腔22内设置有一个供给机械臂(未示)，使得供给腔22用作一用于在载荷锁定腔20和加工腔24之间载入和卸下衬底的中间通道。供给腔22始终处于真空状态下，从而使得当衬底从加工腔24卸走或载入到加工腔24内时，加工腔24的内部自然地保持在真空状态下。

各加工腔24内设置有一支架(未示)——用于在其上支撑一个衬底——以及一个加工器(未示)——用于对衬底进行一定的加工，例如在真空状态下对衬底进行一个蚀刻加工。

上述的FPD制造设备10a和10b设置在一清洁的房间内，以防止对正在加工的衬底造成污染，同时获得改善的衬底加工精度。

当多个在清洁房间内彼此平行设置的FPD制造设备10a和10b连接到一单独的衬底供应站台30时，完成了单一的FPD制造系统。

即，至少两个FPD制造设备10a和10b彼此平行地连接以形成一个单一的FPD制造系统，且所有组成该单一FPD制造系统的FPD制造设备10a和10b独立地驱动。

在操作时，相应地，一个设置在单一衬底供应站台30上的衬底供应机械臂34沿一个轨道32移动以把一个将在FPD制造设备10a和10b进行加工的衬底供应到FPD制造设备10a和10b的载荷锁定腔20内，并将完成加工后的衬底传送到一个将执行下一加工的位置处。

然而，在上述的FPD制造设备10a和10b中，载荷锁定腔20必须连续地进行衬底的载入以及卸下操作，同时在真空状态和大气压状态之间重复地变换。这需要抽吸装置连续不断地操作以形成一真空状态，以及需要通气装置不断地操作以恢复一大气压状态，从而，可能会导致各种装置问题。

此外，由于仅仅使用了单个的供应机械臂34以依次地将衬底供应到多个FPD制造设备10a和10b中，存在这样的问题：加工过程的完成时间不可避免地被延迟了，且衬底的供给操作效率不够高。

发明内容

从而，考虑到上述的问题而提出了本发明，本发明的一个目的是提供一种群集式的FPD制造系统，其中采用了一成行传送带以依次地将衬底供入彼此叠置的载荷锁定腔。

附图说明

通过下文的详细描述，同时参考附图，将可以更好地理解本发明的上述及其它目的、特征及其它优点，其中；

图1为一个传统PFD制造设备的示意图；

图2为一个俯视图，示出了依据本发明第一实施方式的群集式FPD制造设备；

图3和4分别为侧向剖视图和俯视剖视图，示出了上载荷锁定腔和下载荷锁定腔以及一个传送带，所述传送带用于将衬底传送入对应的载荷锁定腔，所述的载荷锁定腔包括于依据本发明第一实施方式FPD制造设备中；

图5和6为俯视图和侧视图，示出了设置在载入和卸下传送带上的止档的不同示例，所述的传送带包括于图2的FPD制造设备中；

图7和8为俯视图，示出了设置在图2的载入和卸下传送带上的衬底对齐器的操作；

图9和10为俯视图，示出了设置在一竖直可移动传送带上的衬底对齐器的操作，所述竖直可移动传送带设置在图2的载入和卸下传送带上；