[发明专利]薄膜图案层制造方法及制造装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种薄膜图案层制造方法及制造装置。

背景技术

目前制造薄膜图案层的方法主要包括：光微影法及喷墨法(请参见“TheFluid Property Dependency on Ink Jetting Characteristics”，proceedings of the2005IEEE，pp.258-260，2005.11)。

光微影法：通过在预备涂敷所需薄膜的基板结构上，涂敷光阻材料，将具有预定图案的光罩设于光阻材料上，进行曝光及显影，或加上蚀刻制程，而形成具有预设图案的薄膜图案层。该光微影法需要复杂的制程，并且，材料的使用效率较低，而造成制造成本较高。

喷墨法：提供一具有由多个分隔墙限定的多个收容空间的基板结构，使用一喷墨装置，该喷墨装置包括一个或多个喷头，该喷头具有多个喷嘴，将形成薄膜材料的墨水喷入该多个收容空间内，墨水被固化后于该基板结构上形成预定的薄膜图案层。由于提供的该基板结构往往大于该多个喷嘴所直接涵盖的面积，因此，尚须提供该喷墨装置的该多个喷头与该基板结构的行列相对运动，然后该喷墨法就能够一次形成薄膜图案层。由于制程大量简化，材料使用经济，因此成本大幅降低。

现有技术中，由喷墨法形成的薄膜图案层中，包括多个薄膜图案层，由于利用一个或多个喷头与基板结构行列相对运动完成，同列中相同材料的薄膜图案层使用同一喷嘴制作，且每一收容空间是由该相同的喷嘴一次填充完成，同列中相同材料的薄膜图案层的厚度基本相同。因此，该行中同种材料的薄膜图案层均匀性很高。但是，不同列相同材料的薄膜图案层，由于使用不同喷嘴制作，故其厚度不易相同。因此，当同种材料不同列之间的薄膜图案层具有不同厚度时，光透过其后，该不同列间的不同厚度易被人眼分辨出来，因此形成线性条纹缺陷(Line Mura Defects)。

发明内容

有鉴于此，有必要提供一种可减少或消除条纹缺陷的薄膜图案层的制造方法。

一种薄膜图案层制造方法，包括以下步骤：提供一基板，其表面具有多个分隔墙，该多个分隔墙间形成多个收容空间，该收容空间呈行列状排列于基板上；提供一喷墨装置，该喷墨装置包括至少一喷头，该喷头具有多个喷嘴；利用一随机数方式产生各个喷嘴的随机喷墨信息，该喷墨信息包括对各个收容空间的喷墨墨滴数量信息，该喷墨信息满足以下条件：该多个收容空间所得到的墨水量之间的差异在正负百分之七点五以内；将该随机数方式产生的喷墨信息传送至一喷墨控制装置，该喷墨控制装置根据该喷墨信息控制该喷墨装置按照该喷墨信息进行喷墨，使墨水填充至该多个收容空间内；固化墨水以形成多个薄膜图案层。

本发明又提供一应用于前述薄膜图案层制造方法的一种薄膜图案层制造装置，其包括：一喷墨装置，其中包含至少一喷头，该喷头具有多个喷嘴；一基板放置平台，用以放置需制造具有多个分隔墙的基板，一控制装置，可依据所收到的喷墨信息，使该喷墨装置与该基板放置平台产生相对运动，同时输出电子驱动信号驱动该喷头喷墨；一电子处理器，可以一随机数方式产生各个喷嘴的随机喷墨信息，该喷墨信息包括对需制造具有多个分隔墙的基板上各个收容空间的喷墨墨滴数量信息，该喷墨信息满足以下条件：该多个收容空间所得到的墨水量之间的差异在正负百分之七点五以内；该电子处理器将该随机数方式产生的喷墨信息传送至该控制装置，该控制装置根据该喷墨信息控制该喷墨装置按照该喷墨信息进行喷墨，使墨水填充至该多个收容空间内。

所述的薄膜图案层制造方法及制造装置通过随机数方式确定对各个收容空间喷墨的喷嘴及喷墨量，即各个收容空间是由哪个或哪些喷嘴来填充，每个喷嘴每一次喷出的滴数均由随机数方式随机确定，由于不同喷嘴喷出的墨滴体积大小存在差异，使墨水填充完毕后该多个收容空间内的墨水量差异在正负百分之七点五以内，虽然该多个收容空间的墨水量有差异，但并没有行列规律性，故在人眼视觉上，体积总体上呈现均匀的状态。此外，以随机数方式决定的喷墨顺序，也没有行列规律性，所以也打乱因行列打印时，因干燥顺序差所产生的行列型的干燥纹路，因此整体完成的薄膜图案层，就能大幅改善光透过该薄膜图案层后所产生的条纹缺陷。

附图说明

图1为本发明第一实施例提供的一种薄膜图案层的截面示意图。

图2为图1的薄膜图案层的另一视角的截面示意图。

图3为本发明第二实施例提供的一种薄膜图案层制造方法的流程示意图。

图4为具有多个分隔墙的基板的第一种形成方法的截面示意图。

图5为具有多个分隔墙的基板的第二种形成方法的截面示意图。