[发明专利]薄膜图案层制造方法及制造装置无效

专利信息
申请号: 200810089024.3 申请日: 2008-04-15
公开(公告)号: CN101559669A 公开(公告)日: 2009-10-21
发明(设计)人: 周景瑜;钱克强;王宇宁 申请(专利权)人: ICF科技有限公司
主分类号: B41J2/01 分类号: B41J2/01;B41J3/407;G03F7/00;B29C45/00;G02F1/1333;G02F1/1335;H01L21/00;H01L51/00
代理公司: 北京申翔知识产权代理有限公司 代理人: 周春发
地址: 美国加州95054圣*** 国省代码: 美国;US
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摘要:
搜索关键词: 薄膜 图案 制造 方法 装置
【权利要求书】:

1.一种薄膜图案层制造方法,其包括以下步骤:

提供一基板,其表面具有多个分隔墙,该多个分隔墙间形成多个收容空间;

提供一喷墨装置,该喷墨装置包括至少一喷头,该喷头具有多个喷嘴;

利用一随机数方式产生一各个喷嘴的随机喷墨信息,该喷墨信息包括对各个收容空间的喷墨墨滴数量信息,该喷墨信息满足以下条件:各个收容空间所得到的墨水量差异在正负百分之七点五以内;

将该随机数方式产生的喷墨信息传送至一喷墨控制装置,该喷墨控制装置根据该喷墨信息控制该喷墨装置按照该喷墨信息进行喷墨,使墨水填充至该多个收容空间内;

固化墨水以形成多个薄膜图案层。

2.如权利要求1所述的薄膜图案层的制造方法,其特征在于,该多个分隔墙通过以下分步骤形成:

在该基板上表面涂布一光阻材料层;

将具有预定分隔墙图案的光罩设于该光阻材料层与一曝光机光源间,并曝光该光阻材料层;

利用显影方式将非分隔墙图案部分的光阻材料层去除,形成设于基板上表面的多个分隔墙。

3.如权利要求1所述的薄膜图案层的制造方法,其特征在于,多个分隔墙通过以下分步骤形成:

提供一射出成型机及一具有预定分隔墙图案的模具;

利用射出成型机将基板材料射出至该模具中;

脱模,得到该表面具有多个分隔墙的基板。

4.如权利要求3所述的薄膜图案层的制造方法,其特征在于,该基板材料选自玻璃、石英玻璃、金属和塑料。

5.如权利要求1所述的薄膜图案层的制造方法,其特征在于,该喷墨装置是热泡式喷墨装置和压电式喷墨装置的一种。

6.如权利要求1所述的薄膜图案层的制造方法,其特征在于,该固化步骤是利用一抽真空装置或一加热装置或一曝光装置固化墨水或上述两种或两种以上的装置组合完成。

7.如权利要求1所述的薄膜图案层的制造方法,其特征在于,该喷墨信息进一步满足如下条件:该多个收容空间中每一收容空间是由至少两个喷嘴喷墨填充完成。

8.如权利要求1所述的薄膜图案层的制造方法,其特征在于,该喷墨信息进一步满足如下条件:该多个收容空间中至少一收容空间是由至少两个喷嘴喷墨填充完成。

9.如权利要求1所述的薄膜图案层的制造方法,其特征在于,该喷墨信息进一步满足如下条件:该多个喷嘴的数量小于该多个收容空间的数量,该多个收容空间每一收容空间是由该多个喷嘴中其中之一填充完成,且在喷墨过程中,每次喷墨时同时喷墨的喷嘴数量小于该多个喷嘴的总数。

10.如权利要求1所述的薄膜图案层的制造方法,其特征在于,该随机数方式所产生的喷墨信息是在该多个喷嘴喷墨之前传送至该喷墨控制装置。

11.如权利要求1所述的薄膜图案层的制造方法,其特征在于,该喷墨装置的多个喷嘴在喷墨过程中依次经过同一列的多个收容空间并根据该喷墨信息喷墨填充该多个收容空间。

12.如权利要求1所述的薄膜图案层的制造方法,其特征在于,利用一随机数方式产生一随机的喷墨墨滴数量信息的方法,包括数学上的随机数表或杂凑表,或计算机的随机数函数,或一非周期性函数,或周期性函数但其周期超过喷头上总喷嘴数量对应的列数的所有收容空间数量或超过基板结构上所有收容空间的数量或超过单一面板区块上所有收容空间的数量。

13.如权利要求1所述的薄膜图案层的制造方法,其特征在于,各个收容空间所得到的墨水量差异在正负百分之五以内。

14.如权利要求1所述的薄膜图案层的制造方法,其特征在于,各个收容空间所得到的墨水量差异在正负百分之三以内。

15.如权利要求1所述的薄膜图案层的制造方法,其特征在于,每一收容空间的总墨滴数须超过十二滴。

16.如权利要求1所述的薄膜图案层的制造方法,其特征在于,每一收容空间的总墨滴数须超过十五滴。

17.如权利要求1所述的薄膜图案层的制造方法,其特征在于,至少有一个喷嘴的电子驱动信号与其它喷嘴不同。

18.如权利要求1所述的薄膜图案层的制造方法,其特征在于,至少有一个喷嘴的随机的喷墨信息与其它喷嘴不同。

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