[发明专利]线性作动器及使用它的阀装置、泵装置

权利要求书

1.一种泵装置，其特征在于，泵装置本体包括与流入口连通的流入通道、配置在该流入通道内的流入侧主动阀、与所述流入通道连接的泵室、配置在该泵室内的泵机构、从所述泵室延伸并与多个流出口分别连通的多个流出通道、分别配置在该多个流出通道内的流出侧主动阀，

所述流出侧主动阀平面状地配置在所述泵室周围。

2.如权利要求1所述的泵装置，其特征在于，所述多个流出通道中，从所述泵室至所述流出侧主动阀的流道长度相等。

3.如权利要求1所述的泵装置，其特征在于，所述流入口及所述多个流出口在所述泵装置本体的同一个面上开口。

4.如权利要求3所述的泵装置，其特征在于，用于所述流入侧主动阀、所述泵机构及所述流出侧主动阀的配线基板，在所述泵装置本体中，层叠在与所述流入口及所述多个流出口所开口的面不同的一侧的面上。

5.如权利要求1所述的泵装置，其特征在于，所述泵装置本体包括：供所述流出通道在一面上形成槽状的板；与该板的所述一面重叠配置的薄片状密封构件。

6.如权利要求5所述的泵装置，其特征在于，

所述泵装置本体具有在内部收容所述泵机构的壳体，同时在该壳体上层叠所述板，

所述泵机构具有隔膜阀，

该隔膜阀的外周部分夹持在所述壳体与所述板之间。

7.如权利要求5所述的泵装置，其特征在于，

所述泵装置本体具有内部收容所述流入侧主动阀及所述流出侧主动阀机构的壳体，并且在该壳体上层叠所述板，

所述流入侧主动阀及所述流出侧主动阀分别具有隔膜阀，

该隔膜阀都是外周部分被夹持在所述壳体与所述板之间。

8.一种具有泵装置的燃料电池，至少具有：具有起电部的起电装置、收容燃料的收容容器、从该收容容器供给燃料的泵装置，其特征在于，

所述泵装置包括与流入口连通的流入通道、配置在该流入通道内的流入侧主动阀、与所述流入通道连接的泵室、配置在该泵室内的泵机构、从所述泵室延伸并与多个流出口分别连通的多个流出通道，

分别配置在各个流出通道内的流出侧主动阀平面状地配置在所述泵室周围。

9.如权利要求8所述的具有泵装置的燃料电池，其特征在于，在所述泵装置的所述多个流出通道中，从所述泵室至所述流出侧主动阀的流道长度相等。

10.如权利要求8或9所述的具有泵装置的燃料电池，其特征在于，所述泵装置的所述流入口及所述多个流出口在所述泵装置本体的同一个面上开口。

11.如权利要求10所述的具有泵装置的燃料电池，其特征在于，用于所述流入侧主动阀、所述泵机构及所述流出侧主动阀的配线基板在所述泵装置中层叠在与所述流入口及所述多个流出口所开口的面不同的一侧的面上。

12.如权利要求8或9所述的具有泵装置的燃料电池，其特征在于，所述泵装置包括：供所述流出通道在一面上形成槽状的板；与该板的所述一面重叠配置的薄片状密封构件。

13.如权利要求12所述的具有泵装置的燃料电池，其特征在于，所述泵装置具有在内部收容所述泵机构的底板，同时在该底板上层叠所述板，所述泵机构具有隔膜阀，

该隔膜阀的外周部分夹持在所述底板与所述板之间。

14.如权利要求12所述的具有泵装置的燃料电池，其特征在于，

所述泵装置具有内部收容所述流入侧主动阀及所述流出侧主动阀机构的底板，并且在该底板上层叠所述板，所述流入侧主动阀及所述流出侧主动阀分别具有隔膜阀，

该隔膜阀都是外周部分被夹持在所述底板与所述板之间。