[发明专利]接合强度的量测装置有效
申请号: | 200810080447.9 | 申请日: | 2008-02-19 |
公开(公告)号: | CN101514954A | 公开(公告)日: | 2009-08-26 |
发明(设计)人: | 赖逸少;蔡宗岳;张效铨 | 申请(专利权)人: | 日月光半导体制造股份有限公司 |
主分类号: | G01N19/04 | 分类号: | G01N19/04 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 周国城 |
地址: | 台湾省*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 接合 强度 装置 | ||
1.一种接合强度的量测装置,适于量测基板与配置于该基板上封装胶体之间的接合强度,其特征在于,该接合强度的量测装置包括:
加热平台,具有第一加热区以及第一可更换治具,该基板配置于该第一加热区,而该第一可更换治具固定于该基板上,并具有显露出该封装胶体的一开口;
加热滑动台,具有第二加热区以及第二可更换治具,该第二加热区用以加热该封装胶体,而该第二可更换治具具有可容纳该封装胶体的一凹穴;该加热滑动台具有沿着推动方向开设的容纳槽以及多个滑槽,而该封装胶体可沿着该容纳槽移动至该凹穴中;以及
固定托架,用以固定该加热滑动台于该加热平台的上方,且该固定托架设有多个沿着所述多个滑槽而移动的支柱。
2.如权利要求1所述的接合强度的量测装置,其特征在于,该固定托架具有多个支撑该加热滑动台于所述多个支柱上的固定片。
3.如权利要求2所述的接合强度的量测装置,其特征在于,所述支柱为螺杆,而所述固定片可调整地锁附于所述多个支柱上,以调整该加热滑动台的所在高度。
4.如权利要求1所述的接合强度的量测装置,其特征在于,还包括一压力计,连接该加热滑动台。
5.如权利要求1所述的接合强度的量测装置,其特征在于,该第一加热区为具有加热线圈以及导热体的通电装置。
6.如权利要求1所述的接合强度的量测装置,其特征在于,该第二加热区为具有加热线圈以及导热体的通电装置。
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