[发明专利]锂离子电池负极用铝锡合金薄膜及其制备方法

权利要求书

1、一种锂离子电池负极用铝锡合金薄膜的制备方法，其特征在于包括下述步骤：

(1)选用作为薄膜电极集流体的金属箔作为磁控溅射的基底，并进行基底清洗；

(2)调节溅射室气压至1.0×10^-3Pa或以上，然后通入惰性气体并调节气压在0.1～10Pa范围；

(3)磁控溅射制备铝锡合金薄膜，调节溅射功率在10W～5KW范围内，沉积时间在10～60分钟范围内。

2、根据权利要求1所述的锂离子电池负极用铝锡合金薄膜的制备方法，其特征在于：步骤(1)所述的作为薄膜电极集流体的金属箔为铜箔或铝箔。

3、根据权利要求1所述的锂离子电池负极用铝锡合金薄膜的制备方法，其特征在于：步骤(3)中，所述磁控溅射类型为直流磁控溅射或射频磁控溅射，具体操作方式为垂直溅射或共溅射，且垂直溅射采用的靶材为一个铝锡合金靶材，其铝的质量百分比为25～75％；共溅射采用的靶材为分别安装在两个不同靶材基座上的铝单体靶材和锡单体靶材。

4、根据权利要求1所述的锂离子电池负极用铝锡合金薄膜的制备方法，其特征在于：步骤(2)所述的惰性气体为氩气。

5、根据权利要求1所述的锂离子电池负极用铝锡合金薄膜的制备方法，其特征在于：步骤(2)所述通入惰性气体后调节的气压为3Pa。

6、根据权利要求1所述的锂离子电池负极用铝锡合金薄膜的制备方法，其特征在于：步骤(3)所述的溅射功率为10W～5KW范围。

7、根据权利要求1所述的锂离子电池负极用铝锡合金薄膜的制备方法，其特征在于：步骤(1)中所述基底清洗是先将基底置于金属清洗剂配制的浓度为3～10％的溶液浸泡，再放入去离子水中浸泡清洗，然后将基底进行干燥后放入溅射室基底基座上，最后对基底表面进行反溅处理。

8、一种由权利要求1～7任一项所述方法制备的锂离子电池负极用铝锡合金薄膜，其特征在于：由固溶体合金材料铝锡合金构成，所述铝锡合金中锡的含量为25～75％，其余为铝。

9、根据权利要求7所述的锂离子电池负极用铝锡合金薄膜，其特征在于，所述铝锡合金薄膜中锡的含量为50％。

10、根据权利要求7所述的锂离子电池负极用铝锡合金薄膜，其特征在于，所述铝锡合金薄膜厚度为50～200μm。