[发明专利]纳米氧化锌多功能气敏传感器件及其制作方法

权利要求书

1.一种气敏传感器件，采用旁热式器件结构，以氧化铝陶瓷管为载体，外表面敷有叉状金电极，两端有铂金丝引出电极，陶瓷管内有加热丝，陶瓷管外涂附有气敏材料，所述气敏材料是片状多孔结构的纳米氧化锌粉体。

2.如权利要求1所述的气敏传感器件，其特征在于所述的加热丝是镍铬合金线圈。

3.权利要求1所述的气敏传感器件的制作方法，步骤如下：

(1)氧化铝陶瓷管依次用去离子水、丙酮清洗干净，晾干备用；

(2)将气敏材料片状多孔结构的纳米氧化锌粉体研细，加入去离子水调成糊状浆料；

(3)把步骤(2)的浆料均匀涂抹在步骤(1)的氧化铝陶瓷管上，然后在200～400℃下烧结，制成管芯；

(4)按照旁热式器件常规工艺，将步骤(3)制得的管芯进行焊接、封装、电老化，制成气敏传感器件。