[发明专利]一种自支撑通孔氧化铝膜的制备方法

权利要求书

1.一种自支撑通孔氧化铝膜的制备方法，包括预处理、电化学抛光、阳极氧化、减薄阻挡层和电解剥膜与通孔五个工艺步骤，其特征在于预处理是先将厚度为0.1mm、纯度为99.5％的金属铝片，依次在丙酮和乙醇中清洗去除表面油污，在大气中晾干后在氧气气氛下500℃退火2小时；电化学抛光是在高氯酸和乙醇体积比为1∶9的混合液中对预处理后的金属铝片进行电化学抛光3分钟，电压为15V；阳极氧化是选取电解液为0.3摩尔/升草酸，电压为40V，对抛光后的金属铝片进行阳极氧化6小时；减薄阻挡层是采用电流回复法每次降低电压1V，直至1V后关闭电源；电解剥膜与通孔是选取电解液为0.5摩尔/升氯化钾水溶液，保持溶液温度为10℃，以减薄阻挡层处理后的金属铝片为阴极，以石墨为阳极，电压为-4～-5V，电解3～10分钟，对减薄阻挡层后金属铝片进行电解剥膜与通孔后制成自支撑通孔氧化铝膜产品。