[发明专利]超声波探头及使用了其的超声波诊断装置

权利要求书

1.一种超声波探头，其特征在于，具备：发射接收超声波的cMUT芯 片，该cMUT芯片具有多个振动要件，所述振动要件具有由上部电极和下 部电极构成的被施加偏置电压的电极以及设置在所述上部电极和所述下 部电极之间的框体，并且，所述多个振动要件与向所述电极施加的所述偏 置电压对应改变机电耦合系数或灵敏度；

设置于所述cMUT芯片上方的音响透镜；

设置于所述cMUT芯片下方的背衬层；

漏电防止机构，其设置在所述音响透镜与所述电极之间，用于防止所 述音响透镜破损的情况下从所述电极向被检测体漏电。

2.根据权利要求1所述的超声波探头，其特征在于，

所述漏电防止机构为至少一层的绝缘层。

3.根据权利要求1所述的超声波探头，其特征在于，

所述漏电防止机构为至少一层的接地层。

4.根据权利要求3所述的超声波探头，其特征在于，

在所述接地层与在所述cMUT芯片内部配备的电极之间具备夹隔层。

5.根据权利要求4所述的超声波探头，其特征在于，

所述夹隔层为由不导电的材质构成的绝缘层。

6.根据权利要求4所述的超声波探头，其特征在于，

所述夹隔层为所述cMUT芯片的一部分，配备于所述电极的所述超声 波收发面侧。

7.根据权利要求6所述的超声波探头，其特征在于，

所述夹隔层为膜体。

8.根据权利要求2所述的超声波探头，其特征在于，

所述绝缘层配备于所述音响透镜的超声波收发面。

9.根据权利要求2所述的超声波探头，其特征在于，

所述绝缘层沿所述音响透镜的所述被检测体侧的相反侧的面配备。

10.根据权利要求2所述的超声波探头，其特征在于，

所述漏电防止机构还具备至少一层的接地层，所述绝缘层配备于所述 至少一层的接地层与所述电极之间。

11.根据权利要求3所述的超声波探头，其特征在于，

从所述背衬层的上表面周缘遍及四个侧面配备挠性基板，所述接地层 经由在所述挠性基板的外部侧面固定的导电构件及地线与地面连接。

12.根据权利要求3所述的超声波探头，其特征在于，

具备从所述背衬层的上表面周缘遍及四个侧面配置的挠性基板和在 所述超声波探头的四个侧面配置的超声波探头罩，

所述接地层经由在所述超声波探头罩的内部侧面固定的导电构件及 地线与地面连接。

13.根据权利要求1所述的超声波探头，其特征在于，

所述漏电防止机构配置于所述音响透镜和所述cMUT芯片之间，该漏 电防止机构包括一层接地层和隔着该接地层配置的两层绝缘层。

14.根据权利要求13所述的超声波探头，其特征在于，

所述两层绝缘层的至少一层的一部分未设置在所述多个振动元件的 与所述被检测体侧对应的部分的至少一部分。

15..根据权利要求2所述的超声波探头，其特征在于，

所述绝缘层为硅氧化物膜或对亚二甲苯膜。

16.根据权利要求3所述的超声波探头，其特征在于，

所述接地层为Cu膜。