[发明专利]熔融石英玻璃及其制造方法

权利要求书

1.一种熔融石英玻璃，其特征在于，对于波长245nm的紫 外光，10mm厚度时的内透过率为95％以上，且OH含量为5ppm 以下，Li、Na、K、Mg、Ca、Cu的含量各自为不足0.1ppm，1215℃ 下的粘度系数为10^11.5Pa·s以上，Al添加量为0.1～3ppm，1050℃ 下在大气中放置24小时时的铜离子的热扩散中，在距表面的深 度超过20μm起至100μm的区域中的Cu离子的扩散系数为 1×10^-10cm²/秒以下。

2.根据权利要求1所述的熔融石英玻璃，其特征在于，对 于波长245nm的紫外光，10mm厚度时的内透过率为98％以上。

3.根据权利要求1或2所述的熔融石英玻璃，其特征在于， 1215℃下的粘度系数为10^12.0Pa·s以上。

4.一种权利要求1～3中任意一项所述的熔融石英玻璃的 制造方法，其特征在于，将原料硅石粉末方英石化后在非还原 性气氛中熔融。

5.根据权利要求4所述的熔融石英玻璃的制造方法，其特 征在于，通过等离子弧熔融法在非还原性气氛中进行熔融。

6.一种半导体制造装置用部件，其特征在于，由权利要求 1～3中任意一项所述的熔融石英玻璃形成。

7.一种液晶制造装置用部件，其特征在于，包含权利要求 1～3中任意一项所述的熔融石英玻璃。