[发明专利]从研磨剂浆料废液中回收研磨剂的方法及装置无效
| 申请号: | 200780030091.1 | 申请日: | 2007-06-14 |
| 公开(公告)号: | CN101500754A | 公开(公告)日: | 2009-08-05 |
| 发明(设计)人: | 中村英生;小林胜弘;松本五男 | 申请(专利权)人: | 旭硝子株式会社 |
| 主分类号: | B24B57/02 | 分类号: | B24B57/02;B01D29/01;B01D29/66;B02C19/06;B03B5/32 |
| 代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人: | 刘多益 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 研磨剂 浆料 废液 回收 方法 装置 | ||
1.一种从研磨剂浆料废液中回收研磨剂的方法,该方法是从含有由研 磨剂、粒径小于该研磨剂的粒径的小粒径异物和粒径大于该研磨剂的粒径 的大粒径异物凝聚形成的凝聚物的研磨剂浆料废液中回收研磨剂的回收方 法,其特征在于,包括分散工序、过滤工序和分级工序;
在所述分散工序中,进行所述研磨剂浆料废液的机械性的分散处理;
在所述过滤工序中,对所述分散处理后的分散液进行过滤处理,从所 述分散液中除去所述大粒径异物;
在所述分级工序中,用旋风分离器对所述过滤处理后的滤液进行分级 处理,将该滤液中的所述研磨剂和所述小粒径异物分级。
2.如权利要求1所述的从研磨剂浆料废液中回收研磨剂的方法,其特 征在于,所述研磨剂是粒径为0.5~5μm的氧化铈。
3.如权利要求1或2所述的从研磨剂浆料废液中回收研磨剂的方法,其 特征在于,所述分散工序是使所述研磨剂浆料废液形成两股以上的高压喷 射流,并使所述高压喷射流相互碰撞的高压碰撞处理。
4.如权利要求1~3中任一项所述的从研磨剂浆料废液中回收研磨剂的 方法,其特征在于,在所述过滤工序中,在用滤器过滤所述分散液时,对 所述分散液及/或滤器施加超声波,进行超声波处理。
5.如权利要求4所述的从研磨剂浆料废液中回收研磨剂的方法,其特 征在于,在所述过滤工序中,实施间歇性地用反洗水对所述滤器进行反洗 的反洗处理。
6.如权利要求1~5中任一项所述的从研磨剂浆料废液中回收研磨剂的 方法,其特征在于,在所述分散工序中,反复多次进行研磨剂浆料废液的 分散处理。
7.如权利要求1~5中任一项所述的从研磨剂浆料废液中回收研磨剂的 方法,其特征在于,在所述分级工序中,将研磨剂和小粒径异物相互混合 而成的中间比重液体从旋风分离器中取出,反复进行分级处理。
8.一种从研磨剂浆料废液中回收研磨剂的装置,其特征在于,包括高 压喷射流分散机、超声波过滤机和旋风分离器;
所述高压喷射流分散机使所述研磨剂浆料废液形成两股以上的高压喷 射流,并使所述高压喷射流在分散容器内相互碰撞;
所述超声波过滤机在对用所述高压喷射流分散机分散后的分散液及/ 或滤器施加超声波的同时用所述滤器对该分散液进行过滤;
所述旋风分离器对用所述超声波过滤机过滤后的滤液中的粒子进行分 级处理。
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