[发明专利]泄漏检测方法及泄漏检测器

权利要求书

1.一种泄漏检测方法，该方法用于将气体施加到被检测的装置和基准罐、并且用于基于当经过了预定时间段时该装置和该基准罐是否具有等于或大于预定值的压差来确定该装置是否存在泄漏，该泄漏检测方法包括以下步骤：

在校准模式下，

(a-1)仅在预定长度的施压阶段内将预定气压施加到该装置和该基准罐，然后停止其施加；

(a-2)测量在施压阶段结束后的第一平衡阶段中在该装置和该基准罐之间产生的压差间的第一压差改变ΔP1；

(a-3)测量在第一平衡阶段结束后的第二平衡阶段中在该装置和该基准罐之间产生的压差间的第二压差改变ΔP2；

(a-4)测量在第二平衡阶段结束后的第一检测阶段中在该装置和该基准罐之间产生的压差间的第三压差改变ΔP3；

(a-5)测量在第一检测阶段结束后的第二检测阶段中在该装置和该基准罐之间产生的压差间的第四压差改变ΔP4；

(a-6)依据第三和第四压差改变之间的差ΔP3-ΔP4以及第一和第二压差改变之间的差ΔP1-ΔP2，计算并存储与在第三压差改变ΔP3中包括的漂移相对应的漂移校正系数K，并且从该装置和该基准罐中释放气体；以及

在检测模式下，

(b-1)仅在施压阶段将预定气压施加到该装置和该基准罐，然后停止其施加；

(b-2)测量在第一平衡阶段中在该装置和该基准罐之间产生的压差间的第一压差改变ΔP1’；

(b-3)测量在第二平衡阶段中在该装置和该基准罐之间产生的压差间的第二压差改变ΔP2’；

(b-4)测量在第一检测阶段中在该装置和该基准罐之间产生的压差间的第三压差改变ΔP3’；

(b-5)依据第一和第二压差改变之间的差ΔP1’-ΔP2’以及漂移校正系数K，估计在第三压差改变ΔP3’中包括的漂移；

(b-6)通过从第三压差改变ΔP3’中减去所述漂移，来估计该装置的泄漏，并且从该装置和该基准罐中释放气体。

2.如权利要求1所述的泄漏检测方法，其中，第一和第二平衡阶段具有相同长度，并且第一和第二检测阶段具有相同长度。

3.如权利要求2所述的泄漏检测方法，其中，

在步骤(a-6)中，使用K＝(ΔP3-ΔP4)/(ΔP1-ΔP2)来计算漂移校正系数K；

在步骤(b-5)中，使用J＝K(ΔP1’-ΔP2’)来计算漂移J；以及

在步骤(b-6)中，使用S＝ΔP3’-J来计算与泄漏相对应的压差改变。

4.如权利要求2所述的泄漏检测方法，其中，

在校准模式下，在该装置的两个不同温度Θ1和Θ2处重复执行步骤(a-1)到(a-5)，以便分别获得第四压差改变ΔP4₁和ΔP4₂；

在步骤(a-6)中，还使用α＝(ΔP4₁-ΔP4₂)/(Θ1-Θ2)来计算温度漂移校正系数α；

在步骤(b-5)中，使用J_T＝K(ΔP1′-ΔP2′)+α(Θ-θ)来计算漂移，其中，Θ表示该装置的温度，θ表示检测模式下的环境温度；以及

在步骤(b-6)中，使用S＝ΔP3’-J_T来计算与泄漏相对应的压差改变S。

5.如权利要求1到4之一所述的泄漏检测方法，其中，步骤(b-6)包括以下步骤：将与所估计的泄漏相对应的压差改变与基准值进行比较，并且基于压差改变是大于还是小于基准值来确定该装置是否存在泄漏。