[发明专利]滤色器制造方法及其装置

说明书

技术领域

本发明涉及使用喷墨嘴在玻璃基板上制造滤色器的方法及其装置。

背景技术

以往，提出过使用喷墨嘴在玻璃基板上制造滤色器的方法(参照专利文献1)。

具体来说，在透明基板上至少设置透明的染色剂吸收层，将应成为不同颜色的像素之间的区域作为具有防染色性的非染色区域，在应成为同一颜色的像素彼此邻接的部位，通过使该应成为同一颜色的多个像素部分包含像素间区域而无间断地赋予染色剂来进行染色，从而制造滤色器。

此外，提出了用重量检测从喷墨头排出的墨滴量，对喷墨头的驱动元件赋予对应于检测结果的施加电压(参照专利文献2)。

专利文献1：日本特开平9-68611号公报

专利文献2：日本特开平11-248926号公报

在专利文献1的方法中，喷墨嘴的使用频率高，因此具有以下问题：不能保证始终良好地进行排出，当产生排出不良时，在由检查工序检测出不良之前继续制造，与此相关所制造的不合格品的数量增多。

此外，在检查工序中，包含进行色度异常检查的工序，但是用多个喷墨嘴对一个像素赋予染色剂，因此存在仅通过色度异常检查无法立即判断是哪个喷墨嘴的异常的问题。

此外，喷墨嘴的污渍造成的排出方向的异常、染色剂的液滴分散的异常带来黑矩阵的污渍等对像素以外的污渍，存在不能判断其先兆的问题。

此外，在专利文献2的方法中，1滴液滴的量非常微小(几皮升～几十皮升)，所以重量也微小(几十μg～几百μg)，难以正确测量。此外，在用电子天平进行该测量的情况下，需要每次对附着了液滴的测量部进行清洁，需要用于清洁的复杂装置。此外，如果清洁不完全，测量变得不准确。

发明内容

本发明的目的在于提供一种能够迅速检测排出不良，而且能够确定是哪个喷墨嘴的排出异常的滤色器制造方法及其装置。

技术方案1的滤色器制造方法，其一边使排列有多个包括多个喷墨嘴的喷墨头的喷墨头横梁和在表面形成有黑矩阵的玻璃基板相对移动，一边用上述喷墨嘴对上述黑矩阵的像素涂敷彩色材料，分多次在上述玻璃基板上涂敷彩色材料，在最初的去时的涂敷结束后，在上述玻璃基板的剩余区域中描画测试图案，在进行回时涂敷期间，检查上述测试图案的彩色材料的命中痕迹的形状。

本说明书中的“剩余区域”是指玻璃基板中、除了形成滤色器的区域之外的区域，形成滤色器的区域与显示区域对应，剩余区域与非显示区域对应。

技术方案2的滤色器制造方法是通过按照锯齿配置方式设定上述测试图案的彩色材料的命中痕迹来描画测试图案的方法。

技术方案3的滤色器制造装置包括：支承部件，其支承排列有多个包括多个喷墨嘴的喷墨头的喷墨头横梁；吸附台，其吸附保持在表面形成有黑矩阵的玻璃基板；移动单元，其使喷墨头横梁和玻璃基板以保持预定间隙的状态相对移动；以及排出控制单元，其控制上述喷墨嘴的排出动作并对上述黑矩阵的像素涂敷彩色材料，上述滤色器制造装置还包括：测试图案描画单元，其用上述喷墨嘴在上述玻璃基板上描画测试图案；检查单元，其检查上述测试图案的彩色材料的命中痕迹的形状；运算单元，其根据检查结果运算排出量的变化；以及存储运算结果的存储单元。

技术方案4的滤色器制造装置，作为上述检查单元，通过比较上述测试图案的彩色材料的命中痕迹的形状和基准形状来进行检查。

技术方案5的滤色器制造装置，作为上述检查单元，包括在与涂敷方向正交的方向上进行扫描的线阵照相机。

技术方案6的滤色器制造装置，作为上述检查单元，包括在与涂敷方向正交的方向上间歇移动，在停止时进行摄像的面阵照相机。

技术方案1的滤色器制造方法，在玻璃基板上描画测试图案，因此通过检查测试图案的彩色材料的命中痕迹的形状，能够迅速判断在哪个喷墨嘴中产生了排出异常。结果，能够将在判断为在喷墨嘴中产生了排出异常之前的期间内制造的不合格品的数量减少到1。

此外，关于多个滤色器，通过依次检查测试图案，能够提前检测喷墨嘴的排出方向的异常，能够将不合格品的产生防患于未然。

技术方案2的滤色器制造方法，能够增大相邻的彩色材料彼此的间隔，进而能够提高检查精度。

技术方案3的滤色器制造装置，通过测试图案描画单元在玻璃基板上描画测试图案，因此通过检查单元检查测试图案的彩色材料的命中痕迹的形状，根据检查结果，通过运算单元运算命中痕迹的形状的变化，能够迅速判断在哪个喷墨嘴中产生了排出异常。结果，能够减少在判断为在喷墨嘴中产生了排出异常之前的期间内制造的不合格品的数量。此外，能够将运算结果预先存储在存储单元中。