[发明专利]用于分开和输送基片的装置和方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于分开和输送基片的装置。所述基片构造为盘 形并且容易破裂。为分开基片设置了一个支座装置，该支座装置以基 片堆的形式接纳着单个的基片并且准备好用于分开。取出装置执行分 开和输送的过程。

此外，本发明涉及一种用于分开和输送以基片堆的形式提供的基 片的方法。

背景技术

所述“基片”构造为盘形或者说面状并且通常为矩形的。它们在 锯开过程之后从基片块中获得。它们具有环绕的、基本上笔直的棱边， 其中棱角可以构造为直角的、倒圆的或斜切的。

多个上下堆放或并排或者说前后放置的基片产生一个“基片堆”。 如果基片表面水平延伸，那么按本发明这涉及“平放的”、由上下叠 放的基片构成的基片堆；如果基片表面垂直延伸，那么这就相当于一 个“竖立的”、由并排竖立的基片构成的基片堆。单个的基片已从对 所述锯开过程来说所必需的保持装置中松脱并且自由地并且彼此独 立地堆放着。但是，所述单个的基片由于在这之前进行的锯开过程还 非人所愿地面状地附着在一起。对于进一步的加工过程来说，在通常 情况下有必要将这些如此堆放的基片分开。这意味着，相应地在竖直 定位的基片堆的端部提供的基片应该借助于一种装置从所述基片堆 上取出并且移交给下一个加工过程。

所述基片在基片堆中的“堆放方向”由有待分开的基片的位置预 先给定。单个的基片如此定向，使得其以其表面基本上彼此紧挨地竖 立着。所述堆放方向在基片表面精确地并且完全彼此抵靠的特殊情况 下恰好相当于所述基片的平面垂线的方向，其中正方向指向基片的相 应端部，应该从该端部将相应的有待分开的基片取下。如果这个基片 布置在所述布置在支座装置中的“竖立”的基片堆的右侧上，那么堆 放方向就相应地沿箭头方向指向右边。

基片堆的“进给方向”基本上相当于所述堆放方向。

“基片堆始端”表示基片的相应的端部，下一个有待分开的基片 处于该端部上。这就是那个指向进给方向的端部。但如果通常谈及“基 片堆端部”，那就没有详细表示这是所述基片堆始端还是基片堆的相 反的端部。

在“支座装置”中提供所述基本上垂直或者说直立定位的基片堆。 在此，相应的基片的一条棱边平放在所述支座装置上。所述支座装置 比如在锯开和/或移走经常为将首先未锯开的基片固定在保持板上的 胶带之后接纳着基片堆，并且将其输送给取出装置，在该取出装置中 应该分开所述基片。所述支座装置优选如此构成，使得其将所述基片 堆作为整体来接纳，也就是说所述单个的基片基本上面状地并排或前 后放置。

所述支座装置可以如愿地使或者迫使所述面状地彼此接触的基 片朝最初的堆放方向进行一定程度的倾斜，从而产生所述基片相对于 最初的堆放方向的在设计上预先确定的“倾角”，该倾角在本发明的 范围内用α来表示。该倾角在基片的平面垂线和所述进给方向之间围 成，其中应该选择相应的基片侧的平面垂线，该基片侧更确切地说指 向进给方向，从而可以产生处于-90°和+90°之间的倾角。正倾角表示 基片向后(反向于进给方向)倾斜，而负倾角则表示基片向前倾斜(沿 进给方向)。优选的倾角处于+5°到+35°的范围内；特别优选的是+15 °到+20°的倾角。

“附着力”按本发明是指在两个表面之间起作用的力，所述力通 过这两个表面的接近而形成。因为按本发明所描述的附着力应该在流 体中产生，所以有必要减少在两个表面之间存在的液体体积，这一点 在原则上可以通过排挤和/或抽吸来实现。为了实现按本发明提出的 尽可能小心翼翼地操作基片这个任务，仅仅在一定程度上减少所述液 体体积，使得在所述表面之间留下一层流体膜或者说液膜。