[实用新型]光罩盒及光罩传送盒有效
| 申请号： | 200720150387.4 | 申请日： | 2007-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN201097111Y | 公开（公告）日： | 2008-08-06 |
| 发明（设计）人： | 李柏欣 | 申请（专利权）人： | 家登精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 | 代理人： | 高翔 |
| 地址： | 台湾省台北*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光罩盒 传送 | ||
【权利要求书】：
1. 一种光罩盒，包括：
第一盖体；以及
第二盖体，与第一盖体组合形成内部空间，可容置至少一个光罩，其特征在于其中形成该第一或第二盖体的材料为高分子材质掺杂金属。
2. 根据权利要求1所述的光罩盒，其特征在于该金属是以金属丝形式掺入该高分子材质。
3. 根据权利要求1所述的光罩盒，其特征在于该金属是以金属微粒形式掺入该高分子材质。
4. 根据权利要求1所述的光罩盒，其特征在于该金属为不锈钢材质。
5. 根据权利要求1所述的光罩盒，其特征在于该高分子材质掺杂金属的表面阻抗约为103-109欧姆/sq。
6. 一种光罩传送盒；包括：
基座；以及
顶盖，与该基座组合形成内部空间，该内部空间可容置至少一个光罩，其特征在于其中该顶盖或基座的材料为高分子材质掺杂金属。
7. 根据权利要求6所述的光罩传送盒，其特征在于还包含导电板，设于该基座相向于该顶盖上表面的预定区域。
8. 根据权利要求7所述的光罩传送盒，其特征在于该顶盖与该导电板电性连接。
9. 根据权利要求6所述的光罩传送盒，其特征在于金属是以金属丝形式掺入该高分子材质。
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