[实用新型]真空镀膜用自降温传动轴无效
申请号: | 200720103862.2 | 申请日: | 2007-03-16 |
公开(公告)号: | CN201010691Y | 公开(公告)日: | 2008-01-23 |
发明(设计)人: | 张迎春;谢钧荣 | 申请(专利权)人: | 北京北仪创新真空技术有限责任公司 |
主分类号: | C23C14/56 | 分类号: | C23C14/56 |
代理公司: | 北京海虹嘉诚知识产权代理有限公司 | 代理人: | 张涛 |
地址: | 102600北京市大兴区大*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 真空镀膜 降温 传动轴 | ||
技术领域
本实用新型涉及真空镀膜技术,特别是涉及一种新型的真空镀膜用的自降温传动轴。
背景技术
在真空镀膜技术领域中,镀膜工件大多依靠传动轴在洁净的真空室内运动,但现有的传动轴一般为不锈钢轴,由于轴体在较高的温度下旋转易于造成旋转副部件工作性能降低-即轴系统中轴承部分在高温下使用寿命急剧缩短,因此需要对传动轴的轴承部分进行连续冷却,目前真空镀膜工艺中普遍采用水冷轴涉及方案,即采用冷却液循环冷却,这样需要在轴系统中设置水冷密封装置,其结构庞大复杂,且性能不很稳定,易于漏水、难以维护,因此会造成传动轴系统过于复杂,增加了系统的成本,又降低了轴系统的运转可靠性,也增加了系统的维护和操作难度。
实用新型内容
针对现有真空镀膜技术中传动轴冷却系统存在的缺陷和不足,本实用新型的目的在于提供一种具有自降温作用的新型真空镀膜用传动轴,利用这种自降温的传动轴,可以克服采用传统的水冷密封装置所带来的结构庞大复杂、密封效果差、性能可靠性低等缺陷和不足。
本实用新型的技术方案为:
一种真空镀膜用自降温传动轴,包括轴体,其特征在于: 所述轴体其位于高温区域内的部分外侧设置有隔热装置。
所述隔热装置为套于轴体上的隔热套或涂敷轴体上的隔热层。
所述轴体至少具有一散热端或散热段位于非高温环境中。
所述轴体两端分别设置有轴承以及相应的支撑。
所述轴体为贯通设置于真空镀膜室中,其位于镀膜室内的轴体部分外侧设置有硬质滚筒,所述硬质滚筒两端分别通过所述隔热套或隔热层与轴体连接。
所述滚筒上设置有传送工件的滚轮。
所述硬质滚筒为不锈钢滚筒。
所述轴体为具有良好热导性材料轴。
所述轴体为不锈钢轴。
本实用新型的技术效果为:
通过在轴体其位于高温区域内的部分外侧设置有隔热装置。这样就可以将轴体与作为热源的空间有效隔离,降低了轴体在高温工作环境内所吸收的热量,降低了温升。
隔热装置采用隔热套或隔热层,使得本实用新型的结构简单、易于加工和安装,同时成本低廉。
利用轴体位于非高温环境中的散热端或散热段,可以将通过隔热套或隔热层传递到轴体上的热量通过该散热端或散热段传递到外界,由于隔热套或隔热层降低了轴体从高温区域吸收热量的速度,而散热端或散热段又相应具有较高的散热效率,从而易于达到热传递的平衡状态,保持轴体在一个较低的温度下工作。
为了保护隔热套或隔热层在工作中不受滚轮的损伤,在隔热装置和滚间设置有硬质滚筒以保护隔热装置。
综上所述,本实用新型具有良好的自降温作用,可以有效解决真空镀膜工艺中传动轴高温运转的困境,利用隔热装置来改善传动轴的受热状况,并通过轴体自身的散热达到稳定的热平衡,可以实现真空镀膜在高温状态下稳定、可靠持续运行,也克服了传统水冷密封所带来的问题。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型做进一步说明。
传动轴是在洁净的真空室内使用,如图1所示。传动轴4为不锈钢轴,其位于真空室内部分两端位置处装有隔热性能良好的隔热套1,隔热套1材质为耐高温绝热材料,隔热套1外侧设置有不锈钢滚筒3,滚筒3两端通过隔热套1与传动轴4相连,从而在滚筒3和传动轴4之间形成一段绝热的空间,该空间可以有效阻止真空室内热能向传动轴4传递,从而降低传动轴4的温升。滚筒3上固定有若干滚轮2,用于传送被镀玻璃等镀膜工件5。
动力由真空室外部经链轮作用于传动轴4使其旋转,再通过滚轮2带动镀膜工件5运行。在镀膜工件5的上方及下方安装烘烤源6、7,使得镀膜工件5在传送过程中两面受热,达到镀膜工艺的温度要求。
另外,传动轴4两端分别安装有轴承及支撑部件8,传动轴4可以通过两轴端及其轴承及支撑部件8向外部散热,以降低并保持整个传动轴4的温度。
以上所述仅为本实用新型的优选实施方式,应当指出,对于本领域的技术人员而言,依据本实用新型的发明实质,还可以做出很多的变型和改进,如不采用本实施例中的滚筒两端设置隔热套结构,而是直接采用滚筒长度范围内通体设置隔热套的结构,但这些变型和改进均应落入本实用新型的保护范围。
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