[实用新型]一种晶圆运输车

说明书

技术领域

本实用新型涉及晶圆运输装置，特别涉及一种具有活动搁架的晶圆运输车。

背景技术

随着晶圆尺寸从8寸增加到12寸，用于放置晶圆的前开式晶盒(FOUP)及其零配件的尺寸也越来越大，使得晶盒的重量不断增加，一个载满晶圆的FOUP的重量约为9.8Kg。如果这些物料都是自动作业的话，那么这种尺寸及重量的增加可能不会引起任何重大的人体生物工程风险。但是，全自动化作业是不能完全实现的，因此不可避免地还是存在人工搬运的情况，例如芯片测量、将晶盒搬运到人工货架等环节。随着越来越多的芯片制造商往亚洲转移，而多数作业人员为女性，FOUP的尺寸及重量问题变得更为明显。

从人体生物工程学的角度而言，搬运重物时最理想的搬运高度应当在人的腰部上下。而随着现行洁净室的运行成本及工作效率的提高，将运送FOUP的推车的搁架高度设在作业人员腰部这样一个单一高度是不实际的，这样会大大影响运输效率。通常，采用具有双层固定式搁架的运输车来进行搬运，每层放置两个前开式晶盒，那么必然至少会有一层搁架的高度是不符合人体生物工程学要求的。作业人员需要重复由低到高或由高到低放置前开式晶盒的动作，如果不能遵从正确的举放技巧的话，会导致作业人员背部及腰部的持续性慢性疼痛，从而严重影响员工的身心健康。

因此，如何提供一种符合人体生物工程学原理的晶圆运输车已成为业界亟待解决的技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种新的晶圆运输车，该运输车的多层搁架均能调到符合人体工程学原理的高度，从而避免作业人员因晶盒放置位置过高或过低而导致搬运时出现的人体损伤。

为了实现上述的目的，本实用新型提供了一种晶圆运输车，包括车身和两层搁架，其中，上层搁架由两块搁板铰接至一轴杆而组成，所述轴杆固定在车身的支架上，两块搁板可绕轴杆转动，并具有一展开状态和一收拢状态；车身上固定有两组滑轮，每组滑轮上均跨设有拉绳，所述拉绳的一端固定在下层搁架上，通过拉动拉绳的另一端可升起下层搁架。

所述下层搁架的底部还设有活动金属柱，所述拉绳的一端连接至活动金属柱，通过拉动拉绳的另一端升起活动金属柱而托起下层搁架。

所述搁板的底部与车身支架之间通过阻尼弹簧连接。

所述搁板底部开有两道滑槽，滑槽内设有滑动件，且每个滑动件与相应的活动金属柱之间通过一滑轮绳相连，所述的滑轮绳跨设在滑轮上。

所述的下层搁架与车身底座之间还设有缓冲装置，例如阻尼弹簧。

所述车身的两侧位于滑轮下方的位置设有一组卡榫，所述的卡榫通过铰接结构与车身相连；车身上还装有卡榫钮，以控制卡榫的收合。

与现有的具有多层固定式搁架的晶圆运输车相比，本实用新型的运输车采用了可收拢的上层搁架，通过滑轮和拉绳可将下层搁架升起，使作业人员在存取晶盒时，其作业高度可保持在符合人体工程学的最佳位置，避免了不必要的人体损伤。

附图说明

本实用新型的晶圆运输车由以下的实施例及附图给出。

图1是本实用新型的晶圆运输车的内部结构示意图；

图2是晶圆运输车的上层搁架位于收拢状态时的结构示意图；

图3是本实用新型第一实施例的结构示意图；

图4是本实用新型第二实施例的结构示意图；

图5是本实用新型第三实施例的结构示意图。

具体实施方式

以下将对本实用新型的晶圆运输车作进一步的详细描述。

参见图1，本实用新型的晶圆运输车包括车身10和两层搁架。上层搁架由两块搁板31、32和一轴杆33组成，搁板31、32铰接至轴杆33，并可绕轴杆33转动至一展开状态或一收拢状态。图1所示的是展开状态，在该状态下，两块搁板31、32上可分别放置一晶盒40。下层搁架20为活动式搁架，通过滑轮21与拉绳22的配合，可使下层搁架20在拉绳22的牵引下在车身10内作升降运动。

当上层搁架上的晶盒40被作业人员取走后，需要继续存取下层搁架20上的晶盒40。参见图2，当作业人员通过拉绳22将下层搁架20升起时，搁板31、32沿轴杆33转动至收拢状态，留出供晶盒40通过的通道。当下层搁架20上升到最大高度时，将搁架20固定，从而作业人员可以进行晶盒40的取放工作。虽然该高度略低于上层搁架的高度，但仍在符合人体工程学的合理高度范围内。