[实用新型]具有对硅微加工工艺误差不敏感的微机械滤波器

权利要求书

1.一种具有对硅微加工工艺误差不敏感的微机械滤波器，包括耦合梁(1)、梳状振子(2)、折叠梁(3)，它们的厚度相同且位于同一平面内，其中，梳状振子(2)包括左梳状振子(21)和右梳状振子(22)，它们形状相同，并分别对称连接在耦合梁(1)的左右两侧，每一个梳状振子(2)的上下两侧分别对称连接着一个平行于耦合梁(1)的折叠梁(3)，静电梳状驱动端(4)设置在左梳状振子(21)的左侧，静电梳状感应端(5)设置在右梳状振子(22)的右侧，静电梳状驱动端(4)和静电梳状感应端(5)的梳齿部分分别与相应一侧的梳状振子(2)的梳齿部分保持不接触的平行交错，其特征在于：

1)、折叠梁(3)和耦合梁(1)在振动方向上具有相同的宽度；

2)、在梳状振子(2)的中部(20)，设有多个垂直于梳状振子平面且贯通的鲁棒补偿孔(201)，使梳状振子(2)的几何尺寸满足如下关系：

P₀a₀≈6A₀

其中，P₀为一个梳状振子(2)外边沿的周长与其上开设的各个鲁棒补偿孔(201)的内周长之和，a₀为折叠梁(3)在振动方向上的宽度，A₀是一个梳状振子(2)的外边沿所包围的面积减去其上开设的各个鲁棒补偿孔(201)的面积所得之差。

2.、根据权利要求1所述的具有对硅微加工工艺误差不敏感的微机械滤波器，其特征在于梳状振子(2)的中部(20)的形状为正方形。

3.根据权利要求1所述的具有对硅微加工工艺误差不敏感的微机械滤波器，其特征在于鲁棒补偿孔(201)为正方形通孔。

4.根据权利要求1所述的具有对硅微加工工艺误差不敏感的微机械滤波器，其特征在于鲁棒补偿孔(201)为圆形通孔。