[发明专利]超音波清洗装置及具有该超音波清洗装置的退火处理设备

说明书

技术领域

本发明有关一种金属线清洗装置，尤指一种装设于金属线退火处理设备中，用以对金属线进行退火前清洗的超音波清洗装置及具有该超音波清洗装置的退火处理设备。 

背景技术

在半导体封装制程中，常使用纯金、铝硅或其它种类合金的金属线将芯片以打线接合方式电连接于电路板或引脚上。此种金属线的制作方式是将金属铸块经过抽拉、拉伸，以及退火处理所形成。 

在上述抽拉的过程中，由于金属线表面容易沾附润滑油或润滑剂等污染物，这些污染物在经过后续的退火处理时，容易受热而转附至退火装置(如退火管)上，因而影响到金属线的退火效果。 

因此，一般在退火处理之前，必须先对金属线进行清洗，以去除金属线上的污染物，常用的清洗方式包括酸洗以及刷洗两种方式。然而，以酸液清洗不仅成本较高且操作上较为危险，而刷洗则可能对金属线造成损伤，并且，上述两种方式都无法有效地彻底清除金属线表面所沾附的污染物，此外，清洗过程中所产生的废液还会对环境造成污染。 

发明内容

有鉴于此，本发明的主要目的在于提供一种可有效地彻底清除金属线沾附的污染物的超音波清洗装置。 

本发明的另一目的，在于提供一种具有上述超音波清洗装置的金属线退火处理设备。 

为达到上述目的，本发明提供一种超音波清洗装置，用以对金属线进行清洗，该清洗装置包含管状壳体、至少一个超音波产生器、盛液盘，以及循环单元。壳体界定出供清洗液容装的清洗室、至少一个连通清洗室并供金属线穿入的入线口、至少一个连通清洗室并供金属线穿出的出线口，以及供清洗液流出的出水口。超音波产生器用以将超音波能量传导至清洗室中的清洗液。盛液盘设于壳体下方，用以盛接由该壳体的出水口流出的清洗液。循环单元包含连通盛液盘及壳体的管路，以及装设于管路上并用以驱动盛液盘中的清洗液经由管路输送至清洗室的泵。

此外，本发明还提供一种具有上述超音波清洗装置的退火处理设备，该设备包含用以提供金属线的供线装置、超音波清洗装置、退火装置，以及用以回收经过该退火装置的金属线的收线装置。 

超音波清洗装置包含管状壳体、超音波产生器、盛液盘，以及循环单元。壳体界定出供清洗液容装的清洗室、连通清洗室并供金属线穿入的入线口、连通清洗室并供金属线穿出的出线口，以及供清洗液流出的出水口。超音波产生器用以将超音波能量传导至清洗室中的清洗液。盛液盘设于壳体下方，用以盛接由该壳体的出水口流出的清洗液。循环单元包含连通盛液盘及壳体的管路，以及装设于管路上并用以驱动盛液盘中的清洗液经由管路输送至清洗室的泵。 

退火装置用以对该超音波清洗装置清洗过的金属线做退火处理，该退火装置包含退火管，以及用以对该退火管进行加热的加热源。 

本发明借由提供超音波清洗装置，对金属线进行退火前清洗，可清洁金属线表面的污染物，防止污染物转附至退火管的管壁上，避免影响金属线的退火效果。 

附图说明

图1为本发明超音波清洗装置的示意图； 

图2为沿图1中2-2线的局部剖视图； 

图3为本发明超音波清洗装置的示意图； 

图4为本发明具有超音波清洗装置的退火处理设备的示意图； 

图5为本发明退火处理设备的退火装置的示意图。 

附图标记说明 

供线装置      10         线材导引装置    20 

滚轮          21、22     超音波清洗装置  30 

壳体          31         清洗室          311 

入线口        312        出线口          313 

出水口        314        超音波产生器    32 

震荡头        321        盛液盘          33 

循环单        34         管路            340 

泵            341        过滤器          342 

退火装置      40         退火管          41 

加热源        42         收线装置        50 

金属线        60 

具体实施方式