[发明专利]一种超宽光谱分色镜的制备方法无效
| 申请号： | 200710304640.1 | 申请日： | 2007-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN101470266A | 公开（公告）日： | 2009-07-01 |
| 发明（设计）人： | 陈焘;熊玉卿;刘宏开;马勉军;王多书 | 申请（专利权）人： | 中国航天科技集团公司第五研究院第五一〇研究所 |
| 主分类号： | G02B27/10 | 分类号： | G02B27/10;B08B3/12;G02B1/10;C23C14/48 |
| 代理公司： | 北京理工大学专利中心 | 代理人： | 张利萍 |
| 地址： | 730000甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 光谱 分色镜 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1、一种超宽光谱分色镜的制备方法，其特征在于包括下列步骤：
(1)清洁真空室：用吸尘器清除真空室内脱落的膜层，然后用无水乙醇擦拭干净真空室内壁；
(2)超声波清洗基底：将基片放入玻璃器皿，用分析纯丙酮将基片超声波清洗10min，再用分析纯无水乙醇超声波清洗10min，最后用分析纯无水乙醇冲洗干净，用专用无屑擦拭纸擦拭至表面无划痕、擦痕和液滴残留痕迹；
(3)加热基底：当本底真空度为5.0×10-3Pa时，加热基底到沉积温度323～353K，并保温30Min～60Min；
(4)离子束清洗基底：基底加温完成后，用能量为80eV～130eV的离子束轰击清洗基底5Min～25Min，工作气体为氧气，气体流量20～30sccm；
(5)离子束辅助多层薄膜沉积：离子束轰击清洗完基底后，立即采用离子束辅助技术交替沉积二氧化钛和冰晶石薄膜至镀完整个膜系；工作气体为氧气，气体流量20～30sccm；
(6)基底降温：薄膜沉积完成后，让基底自然冷却至室温。
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