[发明专利]甩胶喷雾热分解薄膜制备设备无效
申请号: | 200710304426.6 | 申请日: | 2007-12-27 |
公开(公告)号: | CN101245454A | 公开(公告)日: | 2008-08-20 |
发明(设计)人: | 武光明;朱江 | 申请(专利权)人: | 北京石油化工学院 |
主分类号: | C23C20/00 | 分类号: | C23C20/00 |
代理公司: | 北京凯特来知识产权代理有限公司 | 代理人: | 郑立明;孟丽娟 |
地址: | 102617北*** | 国省代码: | 北京;11 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 喷雾 分解 薄膜 制备 设备 | ||
1、一种甩胶喷雾热分解薄膜制备设备,其特征在于,该设备包括:
反应室、测温装置(1)、喷嘴(2)、转盘(4)、加热装置(5)、冷 却装置(6)、雾化装置(12)、转动装置(11)、控温装置(14)和抽气装 置(17)构成;
固定衬底(3)的转盘(4)设置在转动装置(11)的转轴(10)上,转 盘(4)上方设有喷嘴(2)和测温装置(1),喷嘴(2)及测温装置(1)与 转盘(4)上固定的衬底(3)相对应,转盘(4)、喷嘴(2)及测温装置 (1)均设置在反应室内;
所述喷嘴(2)通过管路与反应室外的雾化装置(12)连接;测温装置 (1)与控温装置(14)连接;
转盘(4)下方的反应室上设有加热装置(5),加热装置(5)与所述控 温装置(14)连接;所述加热装置(5)与转动装置(11)的机体之间的转轴 (10)上设有隔热用的冷却装置(6);
所述反应室上设有与外部抽气装置(17)连接的抽气孔(18)。
2、根据权利要求1所述的设备,其特征在于,所述反应室包括:
下平台(15)、围壁(16)和上平台(19),围壁(16)设置在下平台 (15)上,上平台(19)设置在所述围壁(16)上并与下平台相对应,上平 台、下平台(15)及围壁(16)共同构成反应室。
3、根据权利要求2所述的设备,其特征在于,所述围壁为石英管。
4、根据权利要求2所述的设备,其特征在于,所述喷嘴(2)与测温装置 (1)均设置在反应室的上平台(19)上。
5、根据权利要求2所述的设备,其特征在于,所述加热装置(5)设置在 反应室的下平台(15)上,加热装置(5)与下平台(15)上方反应室内的转 盘(4)相对应。
6、根据权利要求2所述的设备,其特征在于,所述抽气孔(18)设置在 反应室的上平台(19)或下平台(15)上。
7、根据权利要求1所述的设备,其特征在于,所述冷却装置(6)为水冷 装置,水冷装置通过进水管(22)和出水管(24)与循环水箱(9)连接形成 冷却隔热的循环冷却装置。
8、根据权利要求2所述的设备,其特征在于,所述水冷装置为密闭的箱 体结构(25),该箱体结构(25)通过轴承(23)设置在所述的转轴(10) 上,并通过固定件(13)与转动装置(11)的机体固定连接。
9、根据权利要求1所述的设备,其特征在于,所述冷却装置(6)为风冷 装置,风冷装置上设有进风口(31),通过管路与风机(32)的出风口连 接。
10、根据权利要求9所述的设备,其特征在于,所述风冷装置为箱体结 构,该箱体结构通过轴承设置在带有多个通风孔(30)的空心转轴上,该箱 体结构通过固定件(13)与转动装置(11)的机体固定连接。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京石油化工学院,未经北京石油化工学院许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200710304426.6/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C20-00 通过固态覆层化合物抑或覆层形成化合物悬浮液分解且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C20-02 .镀金属材料
C23C20-06 .镀金属材料以外的无机材料
C23C20-08 ..镀化合物、混合物或固溶体,例如硼化物、碳化物、氮化物
C23C20-04 ..镀金属