[发明专利]甩胶喷雾热分解薄膜制备设备无效

专利信息
申请号: 200710304426.6 申请日: 2007-12-27
公开(公告)号: CN101245454A 公开(公告)日: 2008-08-20
发明(设计)人: 武光明;朱江 申请(专利权)人: 北京石油化工学院
主分类号: C23C20/00 分类号: C23C20/00
代理公司: 北京凯特来知识产权代理有限公司 代理人: 郑立明;孟丽娟
地址: 102617北*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 喷雾 分解 薄膜 制备 设备
【权利要求书】:

1、一种甩胶喷雾热分解薄膜制备设备,其特征在于,该设备包括:

反应室、测温装置(1)、喷嘴(2)、转盘(4)、加热装置(5)、冷 却装置(6)、雾化装置(12)、转动装置(11)、控温装置(14)和抽气装 置(17)构成;

固定衬底(3)的转盘(4)设置在转动装置(11)的转轴(10)上,转 盘(4)上方设有喷嘴(2)和测温装置(1),喷嘴(2)及测温装置(1)与 转盘(4)上固定的衬底(3)相对应,转盘(4)、喷嘴(2)及测温装置 (1)均设置在反应室内;

所述喷嘴(2)通过管路与反应室外的雾化装置(12)连接;测温装置 (1)与控温装置(14)连接;

转盘(4)下方的反应室上设有加热装置(5),加热装置(5)与所述控 温装置(14)连接;所述加热装置(5)与转动装置(11)的机体之间的转轴 (10)上设有隔热用的冷却装置(6);

所述反应室上设有与外部抽气装置(17)连接的抽气孔(18)。

2、根据权利要求1所述的设备,其特征在于,所述反应室包括:

下平台(15)、围壁(16)和上平台(19),围壁(16)设置在下平台 (15)上,上平台(19)设置在所述围壁(16)上并与下平台相对应,上平 台、下平台(15)及围壁(16)共同构成反应室。

3、根据权利要求2所述的设备,其特征在于,所述围壁为石英管。

4、根据权利要求2所述的设备,其特征在于,所述喷嘴(2)与测温装置 (1)均设置在反应室的上平台(19)上。

5、根据权利要求2所述的设备,其特征在于,所述加热装置(5)设置在 反应室的下平台(15)上,加热装置(5)与下平台(15)上方反应室内的转 盘(4)相对应。

6、根据权利要求2所述的设备,其特征在于,所述抽气孔(18)设置在 反应室的上平台(19)或下平台(15)上。

7、根据权利要求1所述的设备,其特征在于,所述冷却装置(6)为水冷 装置,水冷装置通过进水管(22)和出水管(24)与循环水箱(9)连接形成 冷却隔热的循环冷却装置。

8、根据权利要求2所述的设备,其特征在于,所述水冷装置为密闭的箱 体结构(25),该箱体结构(25)通过轴承(23)设置在所述的转轴(10) 上,并通过固定件(13)与转动装置(11)的机体固定连接。

9、根据权利要求1所述的设备,其特征在于,所述冷却装置(6)为风冷 装置,风冷装置上设有进风口(31),通过管路与风机(32)的出风口连 接。

10、根据权利要求9所述的设备,其特征在于,所述风冷装置为箱体结 构,该箱体结构通过轴承设置在带有多个通风孔(30)的空心转轴上,该箱 体结构通过固定件(13)与转动装置(11)的机体固定连接。

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