[发明专利]显示装置的制造装置、显示装置的制造方法、喷墨式液体供给装置

说明书

技术领域

本发明涉及滤色器等显示装置的制造装置、显示装置的制造方法、喷墨式液体供给装置。

背景技术

在滤色器的制造方法中，当在基板上形成凸部、通过喷墨方式将作为薄膜材料液的油墨供给至由该凸部划分的凹部从而形成着色层(薄膜层)时，如果在凸部的上表面残留油墨，则有损平坦性或像素间的着色均匀性，因而优选使凸部为疏油墨性(疏水性)，并且使凹部为亲油墨性(亲水性)以使油墨的扩散变得良好。

专利文献1所记载的显示装置的制造方法中，赋予凸部以疏油墨性的方法为：在玻璃基板上涂布由感光性材料构成的凸部形成材料，在该感光性材料之上通过旋涂、喷涂等方法广泛地涂布疏油墨处理剂，之后图案形成(patterning)凸部和凹部。另外，使凹部为亲油墨性的方法为对基板的凹部进行紫外线照射。

专利文献1所记载的显示装置的制造方法具有以下的问题。

(1)在进行凸部和凹部的图案形成前必须进行疏油墨处理，形成凸部后未考虑该凸部的疏油墨处理。

(2)当对基板的表面照射紫外线以提高凹部的亲油墨性时，由于凸部的进行了疏油墨处理的部分的亲油墨性也提高，因此有损对凸部的疏油墨处理的效果。

专利文献1：日本特开平9-230129号公报

发明内容

本发明的课题在于，即使对图案形成了凸部和凹部的基板的整体实施疏油墨处理，也使凸部为疏油墨性、凹部为亲油墨性。

技术方案1的发明为在由无机材料构成的基板上形成有由有机材料构成的凸部、并通过喷墨方式将薄膜材料液供给至由该凸部划分的凹部以形成薄膜层的显示装置的制造装置，其具有使氟树脂沉积在所述凸部和凹部的沉积装置、以及对沉积在凸部和凹部的氟树脂进行洗涤的洗涤装置。

技术方案2的发明是在技术方案1的发明中，所述沉积装置为溅射装置。

技术方案3的发明是在技术方案1或2的发明中，所述洗涤装置为用纯水作为洗涤液的超声波洗涤装置。

技术方案4的发明为在由无机材料构成的基板上形成有机材料构成的凸部、并通过喷墨方式将薄膜材料液供给至由该凸部划分的凹部以形成薄膜层的显示装置的制造方法，其中，使氟树脂沉积在所述凸部和凹部，并对沉积在凸部和凹部的氟树脂进行洗涤。

技术方案5的发明是在技术方案4的发明中，所述氟树脂通过溅射装置而被沉积。

技术方案6的发明是在技术方案4或5的发明中，通过超声波洗涤装置洗涤所述氟树脂。

技术方案7的发明为向基板的凹部提供薄膜材料液以形成薄膜层的喷墨式液体供给装置，其中，所述基板为通过技术方案4～6任一项所述方法制造的基板。

(技术方案1、4)

(a)作为疏水性材料的氟树脂相对于由树脂等有机材料构成的凸部的吸附力强于相对于由玻璃等无机材料构成的基板(凹部底面)的吸附力。本发明中，在基板上图案形成的凸部和凹部的表面上沉积氟树脂，之后对沉积在凸部和凹部的氟树脂进行洗涤。沉积在氟树脂的吸附力弱的凹部上的氟树脂剥离，仅凸部的氟树脂残留。因而，即使对图案形成有凸部和凹部的基板整体实施疏油墨处理，也可以使凸部为疏油墨性、使凹部为亲油墨性。因而，当通过喷墨方式将薄膜材料液供给凹部时，由于凹部的亲油墨性使得油墨材料液在凹部内的扩散良好，由于凸部的疏油墨性，可以防止薄膜材料液渗出到凸部的上表面，能够提高形成于凹部的薄膜层的平坦性。

(技术方案2、5)

(b)通过溅射装置可以有效地在凸部和凹部沉积氟树脂。

(技术方案3、6)

(c)通过超声波洗涤装置，一边赋予沉积在凸部和凹部的氟树脂以冲击力，一边洗涤，从而可以有效地剥离沉积在氟树脂吸附力较弱的凹部的氟树脂。

(技术方案7)

(d)使氟树脂吸附在基板的凸部以进行疏油墨处理后，薄膜材料液不会渗出到凸部的上表面，可以提高薄膜层的平坦性或像素间的着色均匀性。另外，由于凹部的亲油墨性，使得薄膜材料液均匀地填充在凹部，可以使薄膜材料液的扩散良好。

附图说明

图1为表示溅射装置的示意图。

图2为表示超声波洗涤装置的示意图。

图3(A)～(D)为表示基板的表面处理状态的示意图。

图4为表示喷墨式液体供给装置的示意图。

符号说明

1基板

2凸部

3凹部

4油墨

10溅射装置

20超声波洗涤装置

30喷墨式液体供给装置

具体实施方式