[发明专利]非接触供电系统及使用了该系统的行走车系统

说明书

技术领域

本发明涉及降低来自非接触供电系统的磁场泄漏，本发明的非接触供电系统作为例如桥式行走车系统或有轨台车系统等的一部分使用。

背景技术

桥式行走车系统等行走车系统中使用非接触供电。该系统在桥式行走车的行走轨道上敷设供电线，桥式行走车用设置在磁性铁心上的拾波线圈非接触受电进行行走。在行走轨道的下方设置有装载口，与桥式行走车之间进行半导体盒等的交接，装载口附设在处理装置上，搬运的半导体晶片等在处理装置内接受检查或暴光、注入不纯物、刻蚀等处理。

发明者发现，随着半导体加工的精细化，来自非接触供电线的磁场对半导体处理装置产生影响。例如，在用激光检查线间距为45nm的半导体晶片时，来自供电线的磁场影响检查装置的定位从而影响检查。如果精细化更进步，则磁场的影响更加显著。磁场不仅影响激光和半导体的检查，而且影响处理装置内的电子设备。因此，有必要降低非接触供电系统的磁场泄漏。

[专利文献1]日本特开2002-238102

发明内容

本发明的课题就是要降低来自非接触供电系统的磁场泄漏。技术方案2发明的追加课题是要简单地构成用于抵消泄漏磁场的补偿电源。技术方案3发明的追加课题是在宽广的范围内有效地抵消泄漏磁场。本发明的课题还有要防止外围设备受来自行走车系统的供电线的泄漏磁场的影响。

本发明为具备交流电源、与该交流电源相连的供电线、以及非接触地从该供电线受电并且设置在移动体一侧的拾波线圈的非接触供电系统，其特征在于设置有补偿电源和补偿用电线，所述补偿电源产生相位与上述供电线中流着的电流的相位相同或相反的补偿电流；所述补偿用电线配置在上述供电线附近，并且用于由来自该补偿电源的补偿电流减弱来自上述供电线的磁场。

并且，本发明将非接触供电系统用于行走车系统的供电，所述非接触供电系统具备交流电源、与该交流电源相连的供电线、非接触地从该供电线受电并且设置在移动体一侧的拾波线圈、产生相位与上述供电线中流着的电流的相位相同或相反的补偿电流的补偿电源，以及配置在上述供电线附近、并且用于由来自该补偿电源的补偿电流减弱来自上述供电线的磁场的补偿用电线。并且设置有用于从上述供电线给行走车供电的供电轨，在该供电轨上设置有补偿用电线。

优选上述补偿电源为与设置在上述移动体一侧的拾波线圈不同的、从上述供电线受电的第2拾波线圈。尤其优选上述补偿用电线为长尺寸方向与供电线平行、并且多圈的长尺寸环状线圈形天线。

发明的效果：

本发明通过在补偿用电线中流着相位与供电线中流着的电流的相位相同或相反的补偿电流，产生方向为抵消来自供电线的磁场的磁场。因此能够减弱来自非接触供电系统的泄漏磁场。并且，本发明在行走车系统的供电轨上设置补偿用电线，减弱泄漏磁场对行走车系统周围装置等的影响。

如果使补偿电源为从上述供电线受电的第2拾波线圈的话，则能够简单地构成补偿电源。如果使补偿用电线为多圈长尺寸形状、长尺寸方向与供电线平行的环状线圈形天线的话，则由于圈数多，因此能够以很小的补偿电流减弱泄漏磁场，通过使线圈形天线的长尺寸方向与供电线平行，能够在沿供电线的很宽的范围内减弱泄漏磁场。

附图说明

图1是示意地表示实施例的桥式行走车系统的图。

图2是表示实施例的桥式行走车系统的布置的主要部分俯视图。

图3是示意地表示实施例的桥式行走车系统的外部天线的图。

图4是示意地表示实施例中的电流的图。

图5是实施例的等价电路图。

具体实施方式

下面说明实施本发明的优选实施例。

[实施例]

图1～图5表示实施例。各图中，2为行走轨道，在其下部设置有左右一对供电轨4、4′，供电轨4上设置有例如一对供电线5、5。另外，供电轨4′也可以使用拐弯区间等，或者物理上将供电轨4、4′作为行走轨道2的一部分。从图中没有表示的交流电源使例如10KHz左右的交流流过供电线5，用图中没有表示的桥式行走车的受电线圈受电由此产生的磁场，进行非接触供电。受电磁铁心为例如将线圈缠绕到磁性体铁心上的部件。

6为支柱，行走轨道2和供电轨4、4′设置在洁净室内，桥式行走车搬送例如半导体盒或分划板等，或者在医院、图书馆及其他地方搬运适当的物品。虽然实施例以桥式行走车系统为例，但地上行走的有轨台车系统或自动仓库的堆装起重机的行走系统也同样可以使用。