[发明专利]液滴喷出装置的功能液加热方法和液滴喷出装置

说明书

技术领域

本发明涉及液滴喷出装置的功能液加热方法和液滴喷出装置。

背景技术

作为在基板上形成所需图案的装置，将功能液形成液滴而喷出的液滴喷射装置即液滴喷出装置受到重视。液滴喷出装置在使载置于载置台上的基板、和使功能液形成液滴喷出的液滴喷头相对二维移动而使从液滴喷头喷出的液滴配置在基板表面的任意位置上，从而形成图案。

液滴喷出装置中，功能液粘性不稳定的情况下，由于液滴的重量变动，所以图案的尺寸和形状产生偏差。另外，功能液的粘性变高的情况下，由于液滴喷头的喷咀出现堵塞，所以产生液滴的喷出不良。因此，液滴喷出装置通过冷却装置冷却供给液滴喷头的功能液，或者通过加热装置对其加热，从而控制功能液的粘性(例如专利文献1和专利文献2)。

基板上形成配线图案的方法中，为了实现配线宽度的高精度化、即液滴直径的高精度化而采用对液滴照射激光束的技术。喷出的液滴通过接收激光束而在短时间干燥，所以能够抑制喷落后的濡湿扩展。作为这样的配线图案采用的功能液例如已知将银(Ag)等金属微粒子分散到溶剂中的分散类金属墨。

上述金属墨放置在常温下的情况下，会使墨的内部招致二次凝集等而劣化。液滴喷出装置长期连续运转的情况下，贮存在罐子中的金属墨继续暴露于常温而劣化，所以得不到稳定的操作。因此，采用上述金属墨的情况下，需要通过冷却装置冷却罐子，冷却罐子内的金属墨。

专利文献1：(日本)JP2000-238281(原文公开号：特開2000-238281号公報)

专利文献1：(日本)JP2005-305973(原文公开号：特開2000-238281号公報)

另一方面，当罐子的金属墨冷却，则从罐子供给的金属墨以低的温度供给液滴喷头。结果，液滴喷头成低温即高粘度，所以难以使该金属墨形成液滴难以喷出。结果，在连接罐子和液滴喷头的金属墨的供给管上设置加热装置，该加热装置对流入供给管中的金属墨加热，能够解决该问题。即，未使用的金属墨通过冷却装置的冷却而防止劣化，使用的金属墨通过加热装置的加热使粘性降低。

但是，上述结构由于分别设置冷却装置和加热装置，所以会招致液滴喷出装置的消耗电力的增大和装置尺寸的大型化。

发明内容

本发明是鉴于上述问题而研发的，其目的在于提供一种能够节能控制供给液滴喷头的功能液的最适温度的液滴喷出装置的功能液加热方法和液滴喷出装置。

本发明的液滴喷出装置的功能液加热方法，通过将收容含有功能材料的功能液的容器收纳于具有冷却装置的收纳库中，从而冷却所述功能液，通过将所述容器中冷却的所述功能液从所述容器通过供给管而供给液滴喷头，从而使所述功能液形成液滴而喷出，其特征在于，利用基于所述冷却装置的冷却的排热，来加热所述供给管中的所述功能液。

根据本发明的液滴喷出装置的功能液加热方法，供给管中的功能液通过基于冷却装置的冷却的排热而加热，之后供给液滴喷头。因此，本发明的功能液加热方法不使用仅用于加热功能液的加热装置，而能够加热被冷却的功能液加热，实现节能化。

本发明的液滴喷出装置的功能液加热方法，通过将收容含有功能材料的功能液的容器收纳于具有冷却装置的收纳库中，从而冷却所述功能液，通过将所述容器中冷却的所述功能液从所述容器通过供给管而供给液滴喷头，从而使所述功能液形成液滴而喷出，其特征在于，利用所述供给管中的所述功能液和周围的空气的热交换，来加热所述供给管中的所述功能液，并通过由所述热交换冷却的所述空气辅助所述冷却装置的冷却。

根据本发明的液滴喷出装置的功能液加热方法，周围的空气通过与供给管中的功能液热交换，而加热供给管中的功能液。另外，通过与功能液的热交换而使冷却的空气辅助冷却装置的冷却。因此，本发明的功能液加热方法不使用仅用于加热功能液的加热装置，而能够加热被冷却的功能液加热，并提高冷却装置的冷却效率，所以能够实现节能化。

本发明的液滴喷出装置的功能液加热方法，通过将收容含有功能材料的功能液的容器收纳于具有冷却装置的收纳库中，从而冷却所述功能液，通过将所述容器中冷却的所述功能液从所述容器通过供给管而供给液滴喷头，从而使所述功能液形成液滴而喷出，并向喷出的所述液滴照射来自光源的光，其特征在于，利用基于所述光源的照射的排热，来加热所述供给管中的所述功能液。

根据本发明的液滴喷出装置的功能液加热方法，供给管中的冷却的功能液通过光源的排热加热，之后供给液滴喷头。因此，本发明的功能液加热方法不使用仅用于加热功能液的加热装置，而能够加热被冷却的功能液加热，能够实现节能化。