[发明专利]喷液元件及其制造方法

权利要求书

1.一种用于制造喷液元件的制造方法，该喷液元件包括：液体流动通路，该液体流动通路开口于用于喷射液体的喷射出口处；以及能量产生部件，用于产生能量，该能量可用于使得来自液体流动通路的液体通过喷射出口来喷射，所述制造方法包括：

在基质的正面形成能量产生部件的步骤；

在具有通过所述能量产生部件形成步骤而形成的所述能量产生部件的所述正面上形成顶板部件的步骤，其中，所述顶板部件是在其中形成所述液体流动通路和所述喷射出口的部件；

从基质的背面削薄所述基质的步骤，该基质有通过所述顶板部件形成步骤而在它上面形成的所述顶板部件；

穿过所述基质形成通孔的步骤；以及

用导电材料填充所述通孔的步骤。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述顶板部件形成步骤包括：在用于形成所述液体流动通路的位置处形成抗蚀剂层的步骤；在抗蚀剂上施加感光树脂材料以及通过曝光和显影而在所述感光树脂材料中形成喷射出口的步骤；以及通过曝光和显影而在所述感光树脂材料中形成喷射出口的步骤。

3.根据权利要求1所述的方法，还包括：在所述削薄步骤之后形成供给口的步骤，该供给口用于将液体穿过所述基质从背面供给到所述液体流动通路。

4.根据权利要求1所述的方法，其中：所述削薄步骤将所述基质的厚度削薄至50μm-300μm。