[发明专利]真空加工设备

权利要求书

1.一种加工设备，包括：室体，其具有用于使基板能够进行装载和卸载的闸式阀；以及可分离地设置在所述室体上的上盖，所述加工设备进一步包括：

上盖提升装置，其可分离地设置在所述上盖上以竖直移动所述上盖；以及

水平驱动单元，其设置在所述上盖的相对侧，并且适于在所述上盖由所述上盖提升装置提升之后来水平移动所述上盖。

2.如权利要求2所述的设备，其中，所述上盖提升装置包括：

多个提升机起重装置，其耦连到所述上盖的上表面以提升所述上盖；以及

起重装置支撑框架，其与所述上盖的上表面平行地间隔开，所述多个提升机起重装置耦连到所述起重装置支撑框架并由其支撑。

3.如权利要求2所述的设备，其中，所述上盖提升装置进一步包括：

防振构件，其插在所述起重装置支撑框架和所述上盖之间并且适于在提升所述上盖时防止上盖的振动。

4.如权利要求3所述的设备，其中，所述防振构件是防振夹具，其具有对应于所述上盖边缘区域的形状，所述防振夹具与形成在上盖上表面处的振动停止器耦连而防止上盖的振动。

5.如权利要求4所述的设备，其中，所述防振夹具设置有一个或多个上盖高度传感器，所述上盖高度传感器插在所述防振夹具和所述振动停止器之间以感测所提升的上盖的高度。

6.如权利要求5所述的设备，其中，所述上盖高度传感器是接触型传感器。