[发明专利]真空加工设备

权利要求书

1.一种加工设备，包括：室体，其具有用于使基板能够进行装载和卸载的闸式阀；以及可分离地设置在所述室体上的上盖，所述加工设备进一步包括：

输送提升机夹具系统，并且

其中，所述输送提升机夹具系统包括：

多边形柱状的主体，其具有适当厚度，该主体在中心设置有连接环；以及

多个连接环，其设置在所述主体下表面的相应拐角处而在对角线方向上向主体的中心移动，所述连接环同时向内或向外移动而改变位置。

2.如权利要求1所述的设备，其中，所述主体包括：

多个引导槽，其穿通所述主体的厚度而沿对角线从主体中心延伸到拐角；

多个螺杆，其分别容纳在所述主体的引导槽中，且在其相对端处固定于主体；

多个移动器，每个紧固到所述螺杆之一的一个圆周位置，并且适于根据螺杆的旋转而向前或向后移动，每个移动器在其下表面设置有连接环；以及

筒式动力源，其下表面形成有螺旋螺纹，该螺旋螺纹与形成在每个螺杆的一端的螺纹相接合以允许所述多个螺杆根据所述动力源的旋转而同时旋转。

3.如权利要求2所述的设备，其中，所述主体的每个引导槽具有向下渐缩的横截面。

4.如权利要求3所述的设备，其中，所述螺杆包括左螺杆和右螺杆，其彼此相对而放置，左螺杆的螺纹在与右螺杆的螺纹相反的方向上延伸。

5.如权利要求4所述的设备，其中，沿所述动力源的上端沿圆周设置有多个把手，以使所述动力源得以手动旋转。

6.如权利要求5所述的设备，其中，所述输送提升机夹具系统进一步包括：轴承，其放置成与设于每个螺杆的一端的螺纹的下端相接触而便于所述螺杆的旋转。