[发明专利]用于一显影机台的液体回收装置及包含该装置的显影机台

权利要求书

1.一种用于一显影机台的液体回收装置，该显影机台包含一液体施配装置及一输送装置，该输送装置将一基板沿一方向运送，进入一涂布区域，以将该液体施配装置所配施的液体，均布于该基板的一表面上，其特征在于，该液体回收装置包含：

一液体容器；以及

一驱动装置，其装设于该液体容器的一侧，用以带动该液体容器至一第一位置，承接该所配施的液体。

2.根据权利要求1所述的液体回收装置，其特征在于，另包含一感应装置，与该驱动装置电性连接，用以感应基板通过该涂布区域，该感应装置具有：

一第一感应器；以及

一第二感应器，沿该基板的运送方向，与该第一感应器相对设置，其中该第一感应器与该第二感应器所界定的一区间包含该涂布区域，当该基板的一前缘通过该第一感应器而进入该涂布区域时，该第一感应器将提供一信号予该驱动装置，使该驱动装置将该液体容器朝远离该第一位置的一第二位置带动；当该基板离开该涂布区域且其一后缘通过该第二感应器时，该第二感应器将提供一信号予该驱动装置，使该驱动装置将该液体容器朝趋近该第一位置带动，以承接由该液体施配装置所流出的液体。

3.根据权利要求2所述的液体回收装置，其特征在于，该第一感应器与该第二感应器所界定的一区间为该涂布区域。

4.根据权利要求1所述的液体回收装置，其特征在于，另包含：

一导流装置及一液体回收槽，该导流装置设于该液体容器及该液体回收槽之间，以将该液体容器内的液体导引至该液体回收槽。

5.根据权利要求4所述的液体回收装置，其特征在于，该导流装置包含一导流管，连通于该液体容器及该液体回收槽之间。

6.根据权利要求4所述的液体回收装置，其特征在于，该导流装置包含一导流板，自该液体回收槽内向该液体容器延伸。

7.根据权利要求1所述的液体回收装置，其特征在于，该驱动装置包含一伺服马达。

8.根据权利要求1所述的液体回收装置，其特征在于，该驱动装置包含一油压装置。

9.根据权利要求1所述的液体回收装置，其特征在于，该驱动装置包含一气动装置。

10.根据权利要求2所述的液体回收装置，其特征在于，该感应装置包含一光电感应器。

11.根据权利要求2所述的液体回收装置，其特征在于，该感应装置包含一机械式感应器。

12.根据权利要求1所述的液体回收装置，其特征在于，该液体容器处于该第一位置时，与该液体施配装置共同界定一密闭空间。

13.根据权利要求2所述的液体回收装置，其特征在于，该第二位置位于该输送装置的上方。

14.根据权利要求2所述的液体回收装置，其特征在于，当该第二位置位于该输送装置的下方。

15.一种显影机台，其特征在于，包含：

一液体施配装置，用以配施液体；

一输送装置，用以将一基板沿一方向运送，进入一涂布区域，以将该液体施配装置所配施的液体均布于该基板的一表面上；以及

一液体回收装置，包含：

一液体容器；以及

一驱动装置，其装设于该液体容器的一侧，用以带动该液体容器至一位置，承接该所配施的液体。