[发明专利]化学过滤网结构

说明书

技术领域

本发明是有关一种化学过滤网结构，尤指一种由侧框与正面框活动结合的组合设计，而令该侧框可自正面框上活动拆离，方便拆卸该侧框以抽换该吸附单元，提供一重复更换使用的化学过滤网结构，适用于电子制造业的无尘室如IC、TFT、半导体制造业的无尘室或类似场地。

背景技术

随着半导体技术不断的进步，IC制程线径不断的缩小，最新进的半导体技术已进入45nm，未来将更进一步地跨入22及32nm制程技术，也由于IC线径不断的缩小，因此外部空气或无尘室内中含微污染(Airborne Molecular Contamination，AMC)物质，例如含硫物质：SO_X、H₂S、DMSO(Dimethyl Sulfoxide，(CH₃)₂SO)、DMS(Dimethyl Sulfide，(CH₃)₂S)等，酸性物质：NOX，碱性物质：NH₃、MEA(MonoethanolAmine，NH₂C₂H₄OH)等，含低沸点的挥发性有机化合物(Volatile Organic Compounds，VOCs)、IPA(Isopropyl Alcohol，C₃H₇OH)、丙酮等，以及含高沸点的挥发性有机化合物(Volatile OrganicCompounds，VOCs)等，对于制程良率的影响，日益扩大。为了提升制程良率，半导体厂通常需于外气空调箱及气流循环区加装化学过滤网。

目前市场上使用化学过滤网型式，其结构大多是于一框架内设有化学滤网，该化学滤网的型态可设为多孔性活性碳滤网、薄层多折式滤网、蜂巢状滤网…等型式，再将该框架置于气体过滤的风口以进行气体过滤；然，现有的化学滤网往往无法兼顾去除成份、去除效率、压力损失、使用寿命及制造成本等因素，且使用饱和后的化学滤网是与框架设为一体，故使用饱和后只能全部丢弃，无法再生重复使用，而产生另一种垃圾污染，故实际使用上仍不符使用者的所需。

发明内容

本发明的主要目的，在提供一种化学过滤网结构，由侧框与正面框活动结合的组合设计，而令该侧框可自正面框上活动拆离，方便拆卸该侧框以抽换该吸附单元，以提供一重复更换使用的化学过滤网结构，除可降低制造成本外，尚具环保功能，以增加本发明的实用性、经济性与环保性。

本发明的次一目的，在提供一种化学过滤网结构，由该吸附单元可替换成多种型式，而使本发明的化学过滤网可适用于各种场合及不同环境的需求，使去除效率更佳且降低了过滤的压力损失，并提高了化学过滤网的使用寿命，增加本发明的实用性与便利性。

为达上述目的，本发明提供一种化学过滤网结构，其特征在于，包括：

一正面框，设有至少一开口；

至少一侧框，该侧框与该正面框活动结合；以及

至少一吸附单元，该吸附单元的二外侧各设有滤网，且该二滤网间设有吸附剂，而该吸附单元结合于该侧框中；

由此，当该吸附单元吸附饱满时，由活动拆离该侧框以抽换该吸附单元，以供重复更换使用。

其中该吸附单元的二滤网间进一步设有一支撑结构，而该吸附剂设于该支撑结构中。

其中该吸附单元的二滤网间进一步设有多数个支撑结构，而该些支撑结构区隔为数层，且该些支撑结构间进一步设有滤网，由此设置不同的吸附剂。

其中该吸附单元进一步结合于一吸附剂边框后再与侧框结合。

其中该侧框上设有凸肋，而该吸附剂边框上设有凹槽，由侧框凸肋与吸附剂边框上凹槽的结合，以供该侧框与该吸附剂边框相互活动结合。

其中该吸附单元进一步设有吸附剂边框，该吸附剂边框上设有启闭口，以供倒入吸附剂。

其中该侧框的凸肋进一步设有气密条以防气体外泄。

其中该滤网为不织布滤网。

其中该滤网为细网。

其中该正面框背侧设有凹槽，而该侧框上相对设有凸块，由正面框凹槽与侧框上凸块的结合，以供该正面框与该侧框相互活动结合。

其中该正面框的开口上进一步设有滤网。

其中该侧框于外侧进一步设有一保护网。

附图说明

为使审查员方便简捷了解本发明的其它特征内容与优点及其所达成的功效能够更为显现，以下结合实施例及附图详细说明如后，其中：

图1是为本发明实施例的立体外观图。