[发明专利]抛光垫及其制造方法

权利要求书

1.一种抛光垫，其包含一基础材料，所述基础材料具有一表面，用于抛光一衬底，其中所述表面包含非织布和一弹性体，所述非织布由一长纤维制成，且所述弹性体嵌入所述非织布中。

2.根据权利要求1所述的抛光垫，其中所述长纤维是选自由一单纤维和复合纤维组成的群组。

3.根据权利要求1所述的抛光垫，其中所述长纤维是由选自由聚酰胺、对苯二甲酰胺、聚酯、聚甲基丙烯酸甲酯、聚对苯二甲酸乙二酯、聚丙烯腈和其混合物组成的群组中的至少一种材料制成。

4.根据权利要求1所述的抛光垫，其中所述长纤维的长度大于10cm。

5.根据权利要求1所述的抛光垫，其中所述长纤维是一海岛纤维。

6.根据权利要求1所述的抛光垫，其中所述非织布包含一网框。

7.根据权利要求6所述的抛光垫，其中所述网框由所述长纤维制成。

8.根据权利要求1所述的抛光垫，其中所述弹性体是一泡沫树脂。

9.一种抛光一衬底的方法，所述方法包含一使用根据权利要求1所述的抛光垫来抛光所述衬底的一表面的步骤。

10.一种生产根据权利要求1所述的抛光垫的方法，其包含以下步骤：

(a)提供基础材料，其包含由长纤维制成的非织布；

(b)用一弹性体溶液来浸渍所述基础材料的表面；和

(c)固化浸渍在所述基础材料的所述表面中的所述弹性体。

11.根据权利要求10所述的方法，其中所述长纤维是选自由一单纤维和复合纤维组成的群组。

12.根据权利要求10所述的方法，其中所述长纤维是由选自由聚酰胺、对苯二甲酰胺、聚酯、聚甲基丙烯酸甲酯、聚对苯二甲酸乙二酯、聚丙烯腈和其混合物组成的群组中的至少一种材料制成。

13.根据权利要求10所述的方法，其中所述长纤维的一长度大于10cm。

14.根据权利要求10所述的方法，其中所述长纤维是一海岛纤维。

15.根据权利要求10所述的方法，其中所述非织布包含一网框。

16.根据权利要求15所述的方法，其中所述网框由所述长纤维制成。

17.根据权利要求10所述的方法，其中所述弹性体是一泡沫树脂。

18.根据权利里要求10所述的方法，其进一步包含在步骤(c)后清洗所述基础材料的所述表面的一步骤(c1)。

19.根据权利里要求18所述的方法，其进一步包含在步骤(c1)后干燥所述基础材料的所述表面的一步骤(c2)。

20.根据权利里要求10所述的方法，其进一步包含在步骤(c)后对所述基础材料的所述表面和所述弹性体进行机械抛光的一步骤(c3)。