[发明专利]弯曲压电式氧化锌纳米棒微电机(MEMS)振动传感器

权利要求书

1.一种振动传感器，其特征是：振动传感器包括衬底、氧化锌纳米棒阵列、微电机结构，所述氧化锌纳米棒阵列均匀垂直生长在衬底表面，所述微电机结构重叠于生长氧化锌纳米棒阵列上；该振动传感器微电机结构与衬底形成上、下电极，所述氧化锌纳米棒阵列处于振动传感器上、下两电极之间，部分或全部受到两电极的压迫而弯曲；在没有生长氧化锌纳米棒的电极上刻有图形，图形能随外界振动而产生共振。

2.根据权利要求1所记述的振动传感器,其特征是：受压弯曲的氧化锌纳米棒产生压电效应，在两电极之间产生电压输出。

3.根据权利要求2所记述的振动传感器,其特征是：两电极材料表面的硬度比氧化锌纳米棒的硬度大，形成两导电层。

4.根据权利要求1所记述的振动传感器,其特征是：两电极之间有一绝缘层，用于两电极的连接与隔离，并控制纳米棒的初始压迫程度。

5.根据权利要求1所记述的振动传感器,其特征是：两电极之间有防过载垫。

6.根据权利要求1所记述的振动传感器,其特征是：该图形结构压弯氧化锌纳米棒，如果图形结构为上下共振时，纳米棒的压迫程度将随之改变，于是在两电极间有变化电压输出；如果图形结构为左右或前后共振时，原来与图形不接触的纳米棒受到图形结构的挤压而变形，产生压电效应，电极有电压输出。

7.根据权利要求6所记述的振动传感器,其特征是：能与外界共振的图形具有多个离散的频率共振点，形成该传感器对特定频率或频率范围传感。