[发明专利]加热处理装置有效
| 申请号： | 200710095853.8 | 申请日： | 2007-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN101055433A | 公开（公告）日： | 2007-10-17 |
| 发明（设计）人： | 岛井太 | 申请（专利权）人： | 东京应化工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/38 | 分类号： | G03F7/38;G03F7/40;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 雒运朴;徐谦 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 加热 处理 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种加热处理装置，其至少具有筐体；可升降地配置于上述筐 体内的载置台；设置于上述载置台上，并对载置于该载置台上的基板加 热的第1加热单元，其特征在于：
在上述筐体的一侧的侧壁设置有第2加热单元，并在上述筐体的另 一侧的侧壁设置有排气机构，上述排气机构包括能够分别控制的多个调 节装置，
上述第2加热单元加热的热气在上述载置台上流向上述排气机构。
2.如权利要求1所述的加热处理装置，其特征在于：上述第1加热 单元被分割为多个。
3.如权利要求1所述的加热处理装置，其特征在于：在上述筐体的 上部设置有第3加热单元。
4.如权利要求1所述的加热处理装置，其特征在于：在上述第2加 热单元和上述载置台之间设置有隔板。
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