[发明专利]用于芯片测试的探针卡及其测试方法有效
| 申请号： | 200710094363.6 | 申请日： | 2007-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN101452010A | 公开（公告）日： | 2009-06-10 |
| 发明（设计）人： | 武建宏 | 申请（专利权）人： | 上海华虹NEC电子有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073;G01R31/317;G01R31/3177 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 | 代理人： | 周 赤 |
| 地址： | 201206上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 芯片 测试 探针 及其 方法 | ||
1.一种用于芯片测试的探针卡的测试方法，所述探针卡包括逻辑测 试仪接口和存储器测试仪接口；所述逻辑测试仪接口和存储器测试仪接口 分别通过共用测试通道与探针相连，所述的逻辑测试仪接口和存储器测试 仪接口之间连有测试通信通道，其特征在于，包括如下步骤：
(1)所述逻辑测试仪接口与所述共用测试通道断开，通过所述测试 通信通道查询触发信号；所述存储器测试仪接口与所述共用测试通道连 接，存储器测试仪通过所述探针进行探测；
(2)存储器测试仪完成探测后将所述存储器测试仪接口与所述共用 测试通道断开，进行数据处理，并通过所述测试通信通道向逻辑测试仪发 送触发信号，然后等待所述逻辑测试仪发送的触发信号；
(3)所述逻辑测试仪接收到所述触发信号后，将所述逻辑测试仪接 口与所述共用测试通道连接，进而通过所述探针进行探测；
(4)所述逻辑测试仪完成探测后将所述逻辑测试仪接口与所述共用 测试通道断开，进行数据处理，并通过所述测试通信通道向存储器测试仪 发送触发信号，然后等待所述存储器测试仪发送的触发信号；
(5)所述存储器测仪接收到触发信号后，将所述存储器测试仪接口 与所述共用测试通道连接，进而通过所述探针进行探测；
(6)重复步骤(2)至步骤(5)，直到测试结束。
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