[发明专利]多腔体设备选取腔体的方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种半导体制造工艺中的多腔体设备选取腔体菜单的方法。

背景技术

随着半导体制造技术的发展，越来越多的半导体制造企业在CIM(Computer Ihtegrated Manufacturing，计算机集成制造)和EAP(Equipment Automation Program，设备自动化控制程序)方面的建设非常重视，通过建设计算机控制的自动化系统，不仅提高了生产制造的整体效率，同时也大大降低了因人为操作错误而造成的经济损失。

生产设备的自动化控制是整个CIM系统中非常重要的组成部分，而针对多腔体设备EAP如何根据各腔体(Chamber)的实际状况、以及菜单(Sequence)的要求来选择正确的腔体进行晶片(Wafer)加工，对提高生产效率和设备利用率就显得非常重要。

一般多腔体设备有三种腔体选取规则，请参阅图1并详细说明如下：

(1)在当前菜单下，多腔体设备的各个腔体具有相同的工艺处理能力，那么选取状态正常的腔体即可。请参阅图1(a)，设备包括三个腔体1、2和3，每个腔体都具有相同的工艺处理能力，也可认为多腔体设备在当前菜单下不具有成对的关键腔体。在选取腔体时，若腔体1状态正常(图中以二进制数1表示)、腔体2和3状态异常(图中以二进制数0表示)，则选取腔体1。

(2)在当前菜单下，多腔体设备中有关键腔体，那么至少要在关键腔体中选取一个。请参阅图1(b)，设备包括四个腔体1、2、3和4，其中腔体3和4为关键腔体。有关键腔体意味着腔体3和4至少要有一个的状态正常才可以进行工艺加工，而腔体1和2无关紧要因此未图示。在选取腔体时，若腔体3状态正常、腔体4状态异常，则选取腔体3。

(3)在当前菜单下，多腔体设备中有多对成对腔体，那么至少要在每对成对腔体中选取一个。请参阅图1(c)，设备包括四个腔体1、2、3和4，其中腔体1和3为一对成对腔体，腔体2和4为一对成对腔体。有多对成对腔体意味着每对成对腔体中至少要有一个腔体的状态正常才可以进行工艺加工。在选取腔体时，若腔体1状态正常、腔体2、3和4状态异常，则不能进行工艺加工；若腔体1、2和3状态正常、腔体4状态异常，则选取腔体123。

如果在当前菜单下，多腔体设备仅有一对成对腔体，视作该多腔体设备具有两个关键腔体。上述多腔体设备选取腔体的三种规则，其逻辑关系并不复杂，在EAP系统中实现的难度也不是很大。通常EAP系统有两种不同的处理方法：

方法一：由EAP系统自动选择正确的菜单，菜单里的各腔体如何选取由人工事先设定；

方法二：由EAP系统自动选择正确的菜单，菜单里的各腔体如何选取是由EAP系统根据腔体的当前状态自动选取的；

方法二自然要比方法一好，能够避免由人工操作带来的失误。方法二最常见的实施方案就是根据腔体的当前状态和腔体选取规则制定映射表，然后EAP系统根据实际情况查询映射表，从而选择腔体进行晶片加工。这种做法非常教条，没有通用性，并且仅能适用于腔体数量少且关系不复杂的情况，不能随意的扩展。因此在半导体制造过程中设计出具有一定通用程度的腔体选取方法十分必要。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是提供一种多腔体设备选取腔体菜单的方法。

为解决上述技术问题，本发明多腔体设备选取腔体的方法包括如下步骤：

第一步，将多腔体设备的当前状态以二进制数表示，二进制数的每一位分别表示一个腔体的当前状态是否正常；

第二步，将多腔体设备在当前菜单中的腔体选取规则以一个或多个二进制数表示；

该方法的第二步包括如下三种情况：

多腔体设备在当前菜单中的所有腔体具有相同的工艺处理能力时，其腔体选取规则以一个二进制数表示，二进制数的每一位均为1；

多腔体设备在当前菜单中具有关键腔体时，其腔体选取规则以一个二进制数表示，二进制数的每一位分别表示一个腔体在当前菜单中是否为关键腔体；

多腔体设备在当前菜单中具有多对成对腔体时，其腔体选取规则以多个二进制数表示，每个二进制数分别表示一对成对腔体，二进制数的每一位分别表示一个腔体在当前菜单中是否为该二进制数所表示的一对成对腔体；

第三步，将第一步与第二步得到的二进制数进行逻辑运算，运算结果是二进制数，二进制数的每一位分别表示一个腔体在当前菜单中是否被选取；

该方法的第三步包括如下两种情况：

第二步仅得到一个二进制数时，将第一步和第二步得到的二进制数进行逻辑与运算，得到运算结果；