[发明专利]搬运装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种搭载电子部件的带状的搬运装置，特别是涉及从对置地卷绕有带和保护片的卷筒，将带与保护片分离后进行搬运的搬运装置。

背景技术

近年来，搭载电子部件的基板变得薄层化，伴随着使用范围的扩大，该尺寸也多样化，厚度为12.5μm至50μm，宽度自35mm至250mm。这样的基板从处理容易性以及高生产性出发，形成为长而且是薄膜状的带。该带由于是长尺寸形状，因此在曝光、清洗、蚀刻、检查、以及组装等的各处理工序间，虽然是在卷绕于卷筒的状态下进行处理，但在各处理工序中会在带的表面涂布抗蚀剂或电路用金属薄膜，或者安装电子部件。因此，在卷绕于卷筒的带之间，安装有与带大致相同形状的保护片，以防止带的表面附着异物，和防止安装于带的电子部件的导线变形、损伤等。

另一方面，各处理工序中的处理对象仅仅是带，保护片是不必要的。因此，在将带搬运至各处理工序的搬运装置中，从卷绕有带与保护片的供给卷筒，将带与保护片分离后送出，仅将带搬运至处理工序。然后，在将处理完毕的带卷绕到卷绕卷筒上时，再次使保护片夹装于带之间。

图5为第一现有技术的搬运装置的示意图。

作为第一现有技术，如图5所示，有搬运装置100，其包括：供给卷筒101，其以在卷绕的带T1之间夹装有保护片S1的状态，卷绕有带T1与保护片S1；卷绕从该供给卷筒101送出的带T1的卷绕卷筒102；将从供给卷筒101送出的保护片S1与带T1分离、并卷绕该保护片S1的卷绕卷筒103；卷绕有保护片S2的供给卷筒104，该保护片S2用于夹装在卷绕于卷绕卷筒102的带T1之间；以及设于作为带T1的搬运系统的供给卷筒101与卷绕卷筒102之间的处理部105(例如专利文献1～3)。在该搬运装置100中，通过将带T1与保护片S1分离后进行搬运，能够在处理部105中仅处理带T1。

在搬运装置100中，在从供给卷筒101将保护片S1卷绕到卷绕卷筒103上时，要调整其张力。具体而言，(1)在专利文献1中，在供给卷筒101与保护片用的卷绕卷筒103之间设有压送滚子；(2)在专利文献2中，将电动机经由离合器连结于保护片用的卷绕卷筒103的驱动轴上。另外，为了调节在卷绕卷筒103侧卷绕的保护片S2的张力，(3)在专利文献3中，通过对保护片S2使用由弹簧产生的弹力，来将张力施加在带T1上。

图6为第二现有技术的搬运装置的示意图。

作为第二现有技术，如图6所示，有装置200，其包括：卷绕有带T1与保护片S1的供给卷筒201；卷绕从该供给卷筒201送出的带T1与保护片S1的卷绕卷筒202；从供给卷筒201至卷绕卷筒202的带T1的搬运系统203；从供给卷筒201至卷绕卷筒202的保护片S1的搬运系统204；以及设于搬运系统203的检查装置205(例如，参照专利文献4)。在该装置200中，从供给卷筒送出的带T1与保护片S1由各自的搬运系统203、204分别搬运，从而在检查装置205中能够仅检查带T1。

[专利文献1]特许第3663421号公报

[专利文献2]特开2004-193259号公报

[专利文献3]特开2005-93958号公报

[专利文献4]特开2005-5586号公报

但是在第一现有技术中，如图5所示，需要用于卷绕从供给卷筒101送出的保护片S1的专门的卷绕卷筒103，并且作为卷绕在该卷绕卷筒103上的保护片S1的张力调整装置，还需要压送滚子、离合器以及弹簧等，存在附带设备变多的问题。当在卷绕处理后的带T1时，为了在带T1之间夹装保护片S2，需要另外进行在卷绕卷筒102的附近设置保护片用的供给卷筒104的作业，因此存在作业效率差的问题。

另一方面，在第二现有技术中，如图6所示，由于从供给卷筒201送出的保护片S1直接卷绕在卷绕卷筒202上，因而不需要附带设备(图5中的卷绕卷筒103等)。但是，由于供给卷筒201、检查装置205、卷绕卷筒202在水平方向上并列，因而会有装置大型化、且需要有大的设置空间的问题。

并且，在装置200中，由于在检查装置205的上方配置有搬运系统204，因而存在附着于保护片S1的灰尘会飞散至检查装置205的作业区域的问题。