[发明专利]用于电子元件的激光筛选机

权利要求书

1、一种用于电子元件的激光筛选机，其特征在于：包括计算机、用于在电子元件上划线的激光划线器、用于支撑电子元件并调节其位置的数控工作台、用于将电子元件可靠固定在数控工作台上的真空吸附旋转装置，用于观察电子元件的监视系统，其中，计算机分别与激光划线器、数控工作台连接，真空吸附旋转装置装在数控工作台上。

2、如权利要求1所述的一种用于电子元件的激光筛选机，其特征在于：所述激光划线器包括激光器、激光泵浦灯电源、激光调Q系统、指示激光器、水冷机、聚焦系统、CCD同轴观察系统、其中，聚焦系统、CCD同轴观察系统位于激光器出光的一端，指示激光器位于激光器的另一端，激光泵浦灯电源、激光调Q驱动电源、水冷机与激光器连接，指示激光器电源与指示激光器连接。

3、如权利要求1所述的一种用于电子元件的激光筛选机，其特征在于：所述数控工作台包括二维平移台、X轴伺服电机、Y轴伺服电机、X轴编码器、Y轴编码器、X轴电机驱动器、Y轴电机驱动器、沿X轴方向运动的滚珠丝杆、沿Y轴方向运动的滚珠丝杆，其中，X轴电机驱动器与X轴伺服电机、X轴编码器连接，Y轴电机驱动器与Y轴伺服电机、Y轴编码器连接，X轴伺服电机通过沿X轴方向运动的滚珠丝杆与二维平移台连接，Y轴伺服电机通过沿Y轴方向运动的滚珠丝杆与二维平移台连接。

4、如权利要求2所述的一种用于电子元件的激光筛选机，其特征在于：所述真空吸附旋转装置包括真空泵、气管、吸附装置、旋转装置，真空泵通过气管直接与吸附装置连接，而吸附装置被固定在旋转装置上。