[发明专利]柔性衬底薄膜太阳电池及专用设备

权利要求书

1.一种柔性薄膜太阳电池及专用设备，其特征在于衬底材料可以是非刚性的，吸 收层的基本组分为铜铟镓硒，缓冲层为硫化锌，窗口层为氧化锌/氧化锌铝。 专用的设备为卷绕式喷涂化合反应设备。

2.根据权利要求1的柔性薄膜太阳电池，其衬底材料为金属铝。

3.根据权利要求1的柔性薄膜太阳电池，以铝箔为衬底材料，吸收层的组分为铜 铟镓硒，缓冲层为硫化锌，窗口层为氧化锌/氧化锌铝。

4.一种制造权利要求1所述的柔性薄膜太阳电池工艺：

A.在铝衬底上生长氧化铝绝缘层。

B.磁控溅射生长氮化钛下电极。

C.制作吸收层。

1)磁控溅射生长铜铟镓堆叠层。

2)非真空方法在吸收层中掺入硒或(和)硫。

3)自发热方式使吸收层加热升温，完成吸收层的硒化反应。

D.独特的化学水浴装置最佳反应条件下生长缓冲层。

E.磁控溅射生长窗口层。

F.制作上电极。

5.根据权利要求1柔性薄膜太阳电池的专用制造设备具有喷涂硒装置。

6.根据权利要求1柔性薄膜太阳电池的专用制造设备采用材料自发热方式升温 硒化。