[发明专利]G3级氮化硅球加工工艺

权利要求书

1.一种G3级氮化硅球加工工艺，其特征在于，包括以下步骤：

a.消除毛坯工件内应力；

b.粗磨；将步骤a中消除内应力的毛坯工件放入立式循环研球机上进行粗磨加工，并加入油剂和混磨剂，加工后球直径变动量小于0.5μm，球形误差小于0.5μm，表面粗糙度小于0.10μm；

c.初研；将粗磨后的工件在立式循环研球机上进行初研加工，并加入油剂和混磨剂，加工后球直径变动量小于0.25μm，球形误差小于0.25μm，表面粗糙度Ra小于0.05μm；

d.精研；将初研后的工件在立式循环研球机上进行精研加工，并加入油剂和混磨剂，加工后球直径变动量小于0.12μm，球形误差小于0.12μm，表面粗糙度Ra小于0.012μm；

e.超精研；将精研后的工件在立式循环研球机上进行超精研加工，加入油剂，不加混磨剂，加工后球直径变动量小于0.08μm，球形误差小于0.08μm，表面粗糙度Ra小于0.010μm；

f.提光处理；将超精研的工件在立式循环研球机上进行提光处理，加工后球表面光亮，球直径变动量小于0.08μm，球形误差小于0.08μm，表面粗糙度Ra小于0.010μm；

g.将加工好的氮化硅球取出洗净，选择并进行包装。

2.根据权利1所述的G3级氮化硅球加工工艺，其特征在于：步骤a中所述的消除毛坯工件内应力是指将毛坯工件在加热设备上加热6～8小时，达到130～160℃，然后空冷到室温。

3.根据权利2所述的G3级氮化硅球加工工艺，其特征在于：所述的加热设备为烘干箱或加热炉。

4.根据权利1所述的G3级氮化硅球加工工艺，其特征在于：步骤b、c、d和e中的所述的油剂是柴油；所述的混磨剂是由不同工序中的不同粒度的磨料和硬脂酸按重量比1/2～3/4在混磨机上充分混磨制成，并且在步骤b、c和d中每隔30～60分钟添加一次混磨剂。

5.根据权利4所述的G3级氮化硅球加工工艺，其特征在于：所述的磨料是氧化铝或碳化硅或碳化硼。

6.根据权利4或5所述的G3级氮化硅球加工工艺，其特征在于：步骤b中磨料粒度为320～300目，加工压力为1.5～3KN，主轴转速为60r/min。

7.根据权利4或5所述的G3级氮化硅球加工工艺，其特征在于：步骤c中磨料粒度为320～300目，加工压力为0.5～1.5KN，主轴转速为30～40r/min。

8.根据权利4或5所述的G3级氮化硅球加工工艺，其特征在于：步骤d中磨料粒度为300～280目，加工压力为0.5～1.0KN，主轴转速为30～40r/min。

9.根据权利1所述的G3级氮化硅球加工工艺，其特征在于：步骤e中加工压力为0.4～0.8KN，主轴转速为20～30r/min。

10.根据权利1所述的G3级氮化硅球加工工艺，其特征在于：步骤f中提光处理是在柴油油剂中添加氧化铬进行研磨提光，其中的参数为：加工压力为0.4～0.8KN，主轴转速为20～30r/min。