[发明专利]具有应变元件的精密力传感器

权利要求书

1.一种精密力传感器，所述精密力传感器包括：

弹性元件，该弹性元件构造成产生由负载决定的偏移；和

至少一个应变元件，该应变元件构造成将所述偏移转换成电信号，

其特征在于，

所述弹性元件由具有在50％和55％之间的镍含量和在17％和21％ 之间的铬含量的可沉淀硬化的镍基合金制成，

其中，所述应变元件由不含聚合物的层系统组成，

所述精密力传感器还包括分别至少在所述弹性元件的一个末端上 的至少一个端块，

其中，所述端块由与所述弹性元件的合金不同的材料制成，

其中，所述端块焊接到所述弹性元件，并且

其中，所述弹性元件构造成平行导向的形式。

2.根据权利要求1所述的精密力传感器，其特征在于，作为可沉 淀硬化的镍基合金，使用根据EN 10027-2的材料编号为2.4668的合金。

3.根据权利要求1所述的精密力传感器，其特征在于，溅射用于 所述应变元件(10)的所述层系统。

4.根据权利要求3所述的精密力传感器，其特征在于，溅射到所 述弹性元件上的用于所述应变元件(10)的所述层系统具有下述的层 顺序：由SiO2或者Al2O3制成的隔离层、由三元镍铬合金制成的拉伸 敏感层、由SiO2或者Al2O3制成的覆盖层。

5.根据权利要求3或4所述的精密力传感器，其特征在于，附加 地溅射至少一个强烈依赖于温度的层。

6.根据权利要求1所述的精密力传感器，其特征在于，一个或多 个所述端块(21、22)通过粘贴与所述弹性元件(1)相连接。

7.根据权利要求1所述的精密力传感器，其特征在于，一个或多 个所述端块(21、22)由塑料制成，并被注塑到所述弹性元件(1)上。