[发明专利]用于伺服系统的光位置传感器M&A

权利要求书

1.一种用于伺服系统移动负载的光位置传感器，其包括：

光源，其被配置成产生强度取决于控制信号的光；

位置彼此相邻的第一光传感器和第二光传感器，每个光传感器被配置成基于 入射到每个光传感器中的光探测器上的光量产生电流；以及

被耦合至所述负载且位于所述光源和所述第一光传感器与所述第二光传感器 之间的带缝器件，所述带缝器件被配置成基于所述负载的位置调节由所述光源产 生的同时射到所述第一光传感器和所述第二光传感器两者的光量，所述带缝器件 具有缝隙，所述缝隙被取向为所述负载的运动使所述带缝器件以这样的方向运动， 即所述带缝器件以该方向运动，使得缝隙平移穿过光传感器从而改变同时射到所 述第一光传感器和所述第二光传感器两者的光量的相应比例。

2.根据权利要求1所述的光位置传感器，其中所述带缝器件进一步调节来自 所述光源的光射到所述第一光传感器和所述第二光传感器的位置。

3.根据权利要求2所述的光位置传感器，其中所述缝隙具有随所述带缝器件 的旋转而线性变化的半径，且其中当所述负载移过整个运动范围时，来自所述光 源的光射到所述第一光传感器和所述第二光传感器的所述位置横通过所述第一光 传感器和所述第二光传感器。

4.根据权利要求3所述的光位置传感器，其中在所述带缝器件中所述缝隙的 宽度在所述缝隙的整个长度上保持恒定。

5.根据权利要求4所述的光位置传感器，其中所述缝隙的所述宽度基本上等 于所述第一光传感器和所述第二光传感器的中心距。

6.根据权利要求1至5中的任意一个权利要求所述的光位置传感器，其中在 所述带缝器件中的所述缝隙是阿基米德螺旋线。

7.根据权利要求1至5中的任意一个权利要求所述的光位置传感器，其中所 述伺服系统径向地移动所述负载，且其中所述带缝器件直接被耦合至所述负载。

8.根据权利要求1至5中的任意一个权利要求所述的光位置传感器，其中所 述伺服系统线性地移动所述负载，且所述光位置传感器进一步包括被耦合在所述 负载和所述带缝器件之间的径向运动转换器，所述径向运动转换器被配置成将线 性运动转换成径向运动。