[发明专利]探针卡

权利要求书

1.一种探针卡，其对作为检查对象的半导体晶片的多个区域进行电信号的输入或输出，其特征在于，

具有：

多个探针，该多个探针与在所述半导体晶片上设置的多个电极接触，进行电信号的输入或输出；

探针头，该探针头收容所述多个探针；

基板，该基板能够接触于所述探针头，且在与所述探针头相对向的表面的附近具有与所述多个探针连接的配线；

核心层，该核心层被埋入在所述基板中，由热膨胀系数小于所述基板的原材料构成；

连接机构，该连接机构经所述配线使所述多个探针的至少一部分和外部的装置电连接。

2.如权利要求1所述的探针卡，其特征在于，

所述连接机构包括：在所述基板的壁厚方向上，在没有埋入所述核心层的部分的壁厚方向贯通而成的通孔。

3.如权利要求1所述的探针卡，其特征在于，

所述连接机构包括：成对地相互结合的零插入力型的阳连接器以及阴连接器之中的任一个。

4.如权利要求3所述的探针卡，其特征在于，

所述基板设置有插入所述阳连接器以及所述阴连接器之中的任一个的缺口。

5.如权利要求3所述的探针卡，其特征在于，

所述基板设置有安装所述阳连接器以及所述阴连接器之中的任一个的开口部。

6.如权利要求5所述的探针卡，其特征在于，

所述阳连接器以及所述阴连接器之中的任一个具有：

能够与成对的连接器结合的第一连接器；以及

安装于所述开口部，与所述配线电连接，并且与所述第一连接器结合的第二连接器。

7.如权利要求1～6中任一项所述的探针卡，其特征在于，

还具备在所述基板的外周安装的加强部件。