[发明专利]流体控制装置

说明书

技术领域

本发明涉及半导体制造装置等所使用的流体控制装置，特别是涉及带加热装置的流体控制装置。

背景技术

专利文献1中公开了一种加热装置，用于对流体控制装置进行加热，在流体控制装置的底座上固定有按前后顺序呈串联状配置的多个流体控制仪器，加热装置包括：配置在流体控制装置左右两侧的至少单侧上的作为加热器部件的带式加热器；由底壁和侧壁构成，底壁被螺纹部件固定于底座，侧壁使带式加热器抵接于各流体控制仪器的多个支架。

另一方面，作为加热流体控制装置的加热器部件，具有管式加热器，管式加热器能够应对高输出，适用于高温处理或带式加热器不适用的位置的加热。

专利文献1：日本特开平10-246356号公报

发明内容

在专利文献1的加热装置中，由于在底座上需要设置用于安装支架底壁的部分，所以存在必须增加流体控制装置的设置面积的问题。出于集成化方面的考虑，不希望增加这样的设置面积，但在用带式加热器从侧面进行加热时，即使不使用支架，也会增加与带式加热器的厚度相应的设置面积。

因此，为了解决上述带式加热器的问题，虽然考虑到使用管式加热器并使其夹在多个流体控制仪器和底座之间，但由于管式加热器为棒形，在加热器断线时的替换等维护时，需要有与其长度相应的替换空间，因此，使用管式加热器时，存在着必须要考虑到维护时如何确保替换空间而进行设计的问题。

本发明的目的在于提供一种流体控制装置，即使使用棒形的管式加热器，也不需要有与其长度相应的替换空间，只要具有与宽度相应的替换空间即可进行维护，与此同时能够抑制设置面积的增加。

本发明的技术方案1的流体控制装置中，串联状配置的多个流体控制仪器被支承部件支承，其中，在支承部件上设有在侧方开口的凹部，加热器部件以能够从侧方安装或拆卸的方式插入该凹部。

作为流体控制装置例如以在入口侧和出口侧分别设有开关阀的质量流量控制器为基本结构，根据需要再增加过滤器、调整器等各种流体控制仪器而构成。也有的流体控制仪器是分别设于入口和出口的带管连接部的块状接头部件、使相邻流体控制仪器相互连通的多个带V字形通路的块状连接部件等。

支承部件由不锈钢等的金属制成，在支承部件的上表面上，以规定的间距设有用于安装流体控制仪器的多个螺纹孔。支承部件可以由截面为コ字形的一个部件形成，也可以由两个部件构成。支承部件被制成为，其长度比多个流体控制仪器在配置方向上的全长更长，在该支承部件的两端部设有通孔，供将支承部件安装至底座的螺纹部件插入。

作为加热器部件，可以是在金属制成的管中设置电热线的管式加热器，也可以是将电热线织入玻璃纤维材料的带式加热器，另外，也可以使用封装加热器、微型加热器、板式加热器等各种类型的加热器。

由于加热器部件能够相对侧方向设于支承部件的凹部安装拆卸，所以只要具有用于在宽度方向上将加热器部件取出的宽度相应的空间，就能够替换加热器部件。

技术方案2的流体控制装置在技术方案1的装置的基础上，通过两片板状部件相重叠，支承部件被形成为横截面为コ字形，加热器部件被插入由两片板状部件所形成的凹部中，并通过螺纹部件被固定。

作为支承部件，可以通过以两片平坦的板状部件夹着垫片重叠而形成为横截面为コ字形，也可以通过至少其中一个板状部件上形成有厚壁部的两片板状部件重叠，而形成为横截面为コ字形。

技术方案3的流体控制装置在技术方案2的装置的基础上，其中一片板状部件是平坦的板，另一板状部件是带阶梯的板，所述带阶梯的板由与平坦的板重叠并结合的厚壁部、以及与平坦的板隔开间隔正对的薄壁部构成。

带阶梯的板的厚壁部设置在长度方向的全长范围内，由此，支承部件的整个横截面形成为コ字形。加热器部件、平坦的板、以及带阶梯的板被制成相同长度。平坦的板与带阶梯的板的结合优选通过螺纹部件实现，在这种情况下，在两板的重叠部设有供螺纹部件插入的通孔，通过使插入该通孔的螺钉与设于底座的螺纹孔的旋合，同时实现板相互的结合、和将支承部件安装至底座。同样地，关于加热器部件的固定，设有将平坦的板、加热器部件、以及带阶梯的板全部贯穿的通孔，通过使插入该通孔的螺钉与设于底座的螺纹孔的旋合，同时实现加热器的固定、以及将加热器部件和支承部件安装至底座。若在流体控制装置的周围存在空间，则在长度方向上和宽度方向上都能够将加热器部件取出。