[发明专利]流体控制装置

权利要求书

1.一种流体控制装置，在支承部件上支承有呈串联状配置的多个流体控制仪器，其特征在于，

在支承部件上设有向侧方开口的凹部，加热器部件以能够从侧方安装或拆卸的方式插入并固定于该凹部。

2.如权利要求1所述的流体控制装置，其特征在于，

支承部件被制成为，其长度大于多个流体控制仪器在配置方向上的全长，在该支承部件的两端部设有通孔，用于插入将支承部件安装至底座的螺纹部件。

3.如权利要求1所述的流体控制装置，其特征在于，

支承部件由两片板状部件相重叠而成，其横截面为コ字形，

加热器部件被插入由两片板状部件所形成的凹部中，并通过螺纹部件被固定。

4.如权利要求3所述的流体控制装置，其特征在于，

其中一片板状部件是平坦的板，

另一板状部件是带阶梯的板，所述带阶梯的板由与平坦的板重叠并相结合的厚壁部、以及隔着间隔与平坦的板互相对置的薄壁部构成。

5.如权利要求4所述的流体控制装置，其特征在于，

设有将平坦的板、加热器部件、以及带阶梯的板全部贯穿的通孔，通过将插入该通孔的螺钉拧入设在底座上的螺纹孔，同时实现加热器部件的固定、以及将加热器部件和支承部件安装至底座上的功能。

6.如权利要求4所述的流体控制装置，其特征在于，

加热器部件包括：棒形加热器主体；导热板，其具有加热器插入孔，供棒形加热器主体以能够安装或拆卸的方式插入其中，

带阶梯的板其薄壁部的宽度比板整个宽度的一半大，

加热器插入孔设置在可使得棒形加热器主体位于支承部件的宽度方向中央的位置。

7.如权利要求6所述的流体控制装置，其特征在于，

被插入加热器插入孔中的棒形加热器主体通过从导热板的侧面被拧入的螺钉被固定，由此，棒形加热器主体与加热器插入孔的周面紧密接触并被以能够安装拆卸的方式支承在导热板上。