[发明专利]真空管道及其监测方法

权利要求书

1.用于从加工室抽取气体的真空管道，所述真空管道至少包括：

包含泵体和马达的泵单元；

排气系统；

第一测量装置，用于测量与所述马达相关的功能参数；

第二测量装置，用于测量与所述排气系统相关的功能参数；以及

所述真空管道的使用持续时间的预测装置，其特征在于，所述预测装置基于由所述第一装置提供的与所述马达有关的功能参数的测量以及由所述第二装置提供的与所述排气系统有关的功能参数的测量来计算在所述泵单元发生故障之前所述真空管道的使用持续时间。

2.根据权利要求1所述的真空管道，其中，用来测量与所述马达有关的功能参数的所述第一测量装置包括测量从所述马达所消耗的功率、所述马达所消耗的电流、所述马达的转动扭矩、以及马达的振动中所选择出来的至少一个特性的装置。

3.根据权利要求2所述的真空管道，其中，用来测量与所述马达有关的功能参数的所述第一测量装置包括用来测量所述马达所消耗的功率的装置。

4.根据任何上述权利要求所述的真空管道，其中，用来测量与所述排气系统有关的功能参数的所述第二测量装置包括用来测量所述排气系统中的气体压强的装置。

5.根据任何上述权利要求所述的真空管道，包括用于测量所述马达所消耗的功率的第一测量装置，用于测量所述排气系统中的气体压强的第二测量装置，以及用来由所述马达所消耗的功率的测量以及由所述排气系统中的气体压强的测量来预测所述真空管道的使用持续时间的预测装置。

6.根据任何上述权利要求所述的真空管道，还包括用来测量与所述泵体有关的功能参数的第三测量装置。

7.根据权利要求6所述的真空管道，其中，用来测量与所述泵体有关的功能参数的所述装置包括测量从所述泵体的处理、泵体的振动、清洗用的氮气的流速、处理用的调节阀的位置中所选择出来的至少一个特性的装置。

8.根据权利要求6或权利要求7所述的真空管道，其中，所述预测装置基于由所述第一装置所提供的与所述马达有关的功能参数的测量、由所述第二装置所提供的与所述排气系统有关的功能参数的测量、以及由所述第三装置所提供的与所述泵体有关的功能参数的测量来计算在所述泵单元发生故障之前所述真空管道的使用持续时间。

9.用于监测根据任何上述权利要求所述的真空管道的方法，所述方法包括下面的步骤：

测量与所述马达有关的功能参数；

测量与所述排气系统有关的功能参数；

将所测量的与所述马达相关的功能参数随时间的变化与所测量的与所述排气系统相关的功能参数随时间的变化联系起来；以及

从中推演出所述真空管道在产生故障前预计的使用持续时间。

10.根据权利要求9所述的方法，其中，所述预计的使用持续时间是基于所述测量的参数的幅度随时间的变化通过统计处理获得的。

11.根据权利要求9或权利要求10所述的方法，其中，与所述马达相关的所测量的功能参数由从所述马达所消耗的功率、所述马达所消耗的电流、所述马达的转动扭矩、以及马达的振动中所选择出来的至少一个特性构成。

12.根据权利要求9到11中的任何一项权利要求所述的方法，其中，与所述排气系统相关的所测量的功能参数为所述排气系统中的气体压强。

13.根据权利要求9到12中的任何一项权利要求所述的方法，其中，与所述马达相关的所测量的功能参数为所述马达所消耗的功率，与所述排气系统相关的所测量的功能参数为所述排气系统中的气体压强，所述真空管道的使用持续时间由所述马达所消耗的功率和所述排气系统中的压强随时间的关联变化来计算。

14.根据权利要求9到13中的任何一项权利要求所述的方法，其中，也测量与所述泵体相关的功能参数。

15.根据权利要求14所述的方法，其中，与所述泵体相关的所述功能参数由从该泵体的温度、泵体振动、清洗用的氮气的流速、温度调节阀的位置中所选择出来的至少一个特性构成。