[发明专利]SAW扭矩和温度传感器

权利要求书

1.一种基于非接触SAW的扭矩和温度传感器，所述扭矩和温度传感器包括：设置在用Y+34°切向的石英制成的基底(1)上的第一(2)和第二(3)SAW谐振器，所述第一SAW(2)具有相对于基底(1)的X轴倾斜+45°的主轴，所述主轴在使用中，与被测扭矩的装置的纵向轴成一行排列或者垂直于被测扭矩的装置的纵向轴，而所述第二SAW(3)具有相对于基底的X轴倾斜-45°的主轴，且所述扭矩和温度传感器还包括第三SAW(4)，所述第三SAW(4)的主轴相对于第一和第二谐振器(2，3)的主轴倾斜一定的角度。

2.如权利要求1所述的基于非接触SAW的扭矩和温度传感器，其中所述第一、第二和第三SAW(2，3，4)都设置在公共基底(1)上。

3.如权利要求1所述的基于非接触SAW的扭矩和温度传感器，其中第一和第二SAW(12，13)设置在第一公共基底(10)上，且第三SAW(14)设置在第二单独形成的基底(11)上，该第二基底与第一基底封装在单独的封装体中。

4.如权利要求3所述的基于非接触SAW的扭矩和温度传感器，其中第二基底(11)的X轴与第一基底(10)的X轴成一行排列或者与第一基底(10)的X轴成90°。

5.如权利要求3或4所述的基于非接触SAW的扭矩和温度传感器，其中第二基底(11)由压电材料形成，特别地具有基本上在10到25ppm/℃范围内的频率的线性温度系数。

6.如权利要求3至5中任一权利要求所述的基于非接触SAW的扭矩和温度传感器，其中第二基底(11)用石英形成。

7.如权利要求6所述的基于非接触SAW的扭矩和温度传感器，其中第二基底(11)由Y切向石英或一直到Y+25°的旋转Y切向石英形成。

8.如前述任一权利要求所述的基于非接触SAW的扭矩和温度传感器，其中第三SAW(23)相对于该基底或每个基底的X轴倾斜α角，其中α基本上在0≤α≤30°范围内。

9.如前述任一权利要求所述的基于非接触SAW的扭矩和温度传感器，其中传感器包括第四SAW谐振器(24)，所述第四SAW谐振器(24)以与第三SAW(23)的倾斜角度相等且相反的角度倾斜，所述第三和第四SAW(23，24)都用于提供温度信息。

10.如权利要求9所述的基于非接触SAW的扭矩和温度传感器，其中所述第三和第四SAW(23，24)相对于基底的X轴对称地排列。

11.如权利要求10所述的基于非接触SAW的扭矩和温度传感器，其中第三和第四SAW(23，24)分别相对于基底的X轴倾斜+α°和-α°。

12.如权利要求11所述的基于非接触SAW的扭矩和温度传感器，其中第三和第四SAW(23，24)置于公共基底上。

13.如权利要求12所述的基于非接触SAW的扭矩和温度传感器，其中在其上形成有所述第三和第四SAW(23，24)的公共基底(20)是与承载第一和第二SAW(21，22)的基底集成形成的。