[发明专利]用铜或银涂覆基质的方法

权利要求书

1.用于在采用陶瓷蒸发舟的情况下用从铜和银中选出的金属通过蒸发金属来涂覆基质的方法，其特征为：采用由导电的陶瓷材料制成的蒸发舟，所述蒸发舟进行蒸发的表面设有下列涂层之一：

a)由至少一种元素周期表第4至6副族的过滤金属和/或其硼化物组成的涂层，

b)由待蒸发金属和至少一种元素周期表第4至6副族的过渡金属和/或其硼化物的混合物组成的涂层，

c)由至少一种元素周期表第4至6副族的过渡金属和/或其硼化物组成的第一涂层和施加在第一涂层上的由待蒸发金属组成的涂层。

2.按权利要求1所述的方法，其特征为：采用由热压的二硼化钛和氮化硼以及必要时还有氮化铝组成的蒸发舟。

3.按权利要求1和/或2所述的方法，其特征为：采用涂层平均厚度为1-750μm，优选为15-500μm，进一步优选为50-150μm的蒸发舟。

4.按上述权利要求之至少一项所述的方法，其特征为：作为元素周期表第4至6副族的过渡金属，采用钛、锆、钒、钼和钨。

5.按上述权利要求之至少一项所述的方法，其特征为：采用具有由钨和/或硼化钨组成的涂层的蒸发舟。

6.按上述权利要求之至少一项所述的方法，该方法用于用铜或银通过真空带式蒸镀法来涂覆柔性基质。

7.用在按权利要求1至6之至少一项所述的方法中的由导电陶瓷材料组成的蒸发舟，所述蒸发舟进行金属蒸发的表面设有下列涂层之一：

a)由至少一种元素周期表第4至6副族的过渡金属和/或其硼化物组成的涂层，

b)由待蒸发金属和至少一种元素周期表第4至6副族的过渡金属和/或其硼化物的混合物组成的涂层，

c)由至少一种元素周期表第4至6副族的过渡金属和/或其硼化物组成的第一涂层和施加在第一涂层上的由待蒸发金属组成的涂层。

8.按权利要求7所述的蒸发舟，其特征为：所述导电陶瓷材料由二硼化钛和氮化硼以及必要时还有氮化铝组成。

9.按权利要求7和/或8所述的蒸发舟，其特征为：所述涂层具有1-750μm，优选地15-500μm，进一步优选地50-150μm的平均厚度。

10.按权利要求7至9之至少一项所述的蒸发舟，其特征为：所述元素周期表第4-6副族的过渡金属从钛、锆、钒、钼和钨中选择。

11.按权利要求7至10之至少一项所述的蒸发舟，其特征为：所述蒸发舟设有由硼化钨组成的涂层。